Modulation of the electrical characteristics of HfOx/TiN RRAM devices through the top electrode metal

ECS Transactions

Volumn 28, Issue 2, 2010, Pages 119-126

  Chang, K M ^a   Tzeng, W H ^a   Liu, K C ^b   Lai, W R ^a  

^a NATIONAL CHIAO TUNG UNIVERSITY   (Taiwan)

^b CHANG GUNG UNIVERSITY   (Taiwan)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

DISPERSIONS; ELECTRODES; RRAM; TITANIUM;

COMPLIANCE CURRENT; CONDUCTION MECHANISM; ELECTRICAL CHARACTERISTIC; ELECTRICAL CONDUCTION; LOW OPERATION CURRENTS; LOW-RESISTANCE STATE; RESISTIVE RANDOM ACCESS MEMORY (RRAM); SWITCHING CHARACTERISTICS;

HAFNIUM COMPOUNDS;

EID: 78650530010     PISSN: 19385862     EISSN: 19386737     Source Type: Conference Proceeding    
DOI: 10.1149/1.3372569     Document Type: Conference Paper

References (11)

1. I. G. Baek, M. S. Lee, S. Seo, M. J. Lee, D. H. Seo, D. -S. Suh, J. C. Park, S. O. Park, H. S. Kim, I. K. Yoo, U. -I. Chung, and J. T. Moon, IEDM, Tech. Dig., 2004, p. 587.
2. C. Rohde, B. J. Choi, D. S. Jeong, S. Choi, J. S. Zhao, and C. S. Hwang, Appl. Phys. Lett., 86, 262907 (2005).
3. S. Kim, I. Byun, I. Hwang, J. Kim, J. Choi, B. H. Park, S. Seo, M. J. Lee, D. H. Seo, D. S. Suh, Y. S. Joung, and I. K. Yoo, Jpn. J. Appl. Phys., 44, L345 (2005).
4. S. Seo, I. S. Byun, M. J. Lee, D. C. Kim, S. E. Ahn, B. -H Park, Y. S. Kim, I. K. Yoo, I. R. Hwang, S. H. Kim, J. -S. Kim, J. S. Choi, J. H. Lee, and S. H. Jeon, Appl. Phys. Lett., 87, 263507 (2005).
5. C. Y. Lin, C. Y. Wu, C. Y. Wu, T. C. Lee, F. L. Yang, C. Hu, and T. Y. Tseng, IEEE Electron Device Lett., 28, 366 (2007).
6. C. B. Lee, B. S. Kang, A. Benayad, M. J. Lee, S. -E. Ahn, K. H. Kim, G. Stefanovich, Y. Park, and I. K. Yoo, Appl. Phys. Lett., 93, 042115 (2008).
7. H. Y. Lee, P. S. Chen, C. C. Wang, S. Maikap, P. J. Tzeng, C. H. Lin, L. S. Lee, M. J. Tsai, Jpn. J. Appl. Phys., 46, 2175 (2007).
8. H. Y. Lee, P. S. Chen, T. Y. Wu, C. C. Wang, P. J. Tzeng, C. H. Lin, F. Chen, M. J. Tsai, C. Lien, Appl. Phys. Lett., 92, 142911 (2008).
9. S. Lee, W. G. Kim, S. W. Rhee, and K. Yong, J. Electrochem. Soc., 155, H92 (2008).
10. K. M. Kim, B. J. Choi, Y. C. Shin, S. Choi, and C. S. Hwang, Appl. Phys. Lett., 91, 012907 (2007).
11. R. Jung, J.-S. Kim, M. -J. Lee, B. H. Park, S. Seo, D. C. Kim, G. S. Park, K. Kim, S. Ahn, Y. Park, I. -K. Yoo, Appl. Phys. Lett., 91, 022112 (2007).