Optical properties of zinc-oxide films determined using Spectroscopic ellipsometry with various dispersion models

Journal of the Korean Physical Society

Volumn 55, Issue 3, 2009, Pages 1227-1232

  Dai, Zhong Hong ^a   Zhang, Rong Jun ^a   Shao, Jie ^a   Chen, Yi Ming ^a   Zheng, Yu Xiang ^a   Wu, Jia Da ^a   Chen, Liang Yao ^a  

^a FUDAN UNIVERSITY   (China)

Author keywords

Dispersion models; Optical properties; Pulsed laser deposition; Spectroscopic ellipsometry

Indexed keywords

EID: 70350266825     PISSN: 03744884     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.3938/jkps.55.1227     Document Type: Article

References (28)

1. T. Mitsuyu, S. Ono and K. Wasa, J. Appl. Phys. 51, 2646 (1980).
2. W. W. Wenas, A. Yamada and K. Takahashi, J. Appl. Phys. 70, 7119 (1991).
3. H. Ohta, K. Kawamura, M. Orita, M. Hirano, N. Sarukura and H. Hosono, Appl. Phys. Lett. 77, 475 (2000).
4. A. S. Juarez, A. T. Silver, A. Ortiz, E. P. Zironi and J. Richiards, Thin Solid Films 333, 135 (1998).
5. M. Joseph, H. Tabata and T. Kawai, Appl. Phys. Lett. 74, 2534 (1999).
6. H. Jeon, J. Ding, A. V. Nurmikko, H. Luo, N. Samarth, J. K. Furdyna, W. A. Bonner and R. E. Nahory, Appl. Phys. Lett. 57, 2413 (1990).
7. S. Nakamura, M. Senoh, S. Nakahana, N. Iwasa, T. Yamada, T. Matsushita, Y. Sugimoto and H. Kiyoku, Appl. Phys. Lett. 69, 1477 (1996).
8. A. Hachigo, H. Nakahata, K. Higaki, S. Fujii and S. Shikata, Appl. Phys. Lett. 65, 2556 (1994).
9. S. K. Tiku, C. K. Lau and K. M. Lakin, Appl. Phys. Lett. 36, 318 (1980).
10. P. Fons, K. Iwata, S. Niki, A. Yamada and K. Matsubara, J. Cryst. Growth 627, 201 (1999).
11. R. D. Vispute, V. Talyansky, S. Choopun, R. P. Sharma, T. Venkatesan, M. He, X. Tang, J. B. Halpern, M. G. Spencer, Y. X. Li and L. G. Salamanca-Riba, Appl. Phys. Lett. 73, 348 (1998).
12. T. Yamamoto, T. Shiosaki and A. Kawabata, J. Appl. Phys. 51, 3113 (1980).
13. T. Mitsuyu, S. Ono and K. Wasa, J. Appl. Phys. 51, 2464 (1980).
14. A. Hachigo, H. Nakahata, K. Higaki, S. Fujii and S. Shikata, Appl. Phys. Lett. 65, 2556 (1994).
15. J. Shao, Y. Q. Shen, J. Sun, N. Xu, D. Yu, Y. F. Lu and J. D. Wu, J. Vac. Sci. Technol. B 26, 214 (2008).
16. L. Y. Chen, X. W. Feng, Y. Su, H. Z. Ma and Y. H. Qian. Appl. Opt. 33, 1299 (1994).
17. S. Z. Feng, R. J. Zhang, Y. X. Zheng, J. Li, P. H. Mao, X. F. Li and L. Y. Chen, J. Korean Phys. Soc. 51, 1593 (2007).
18. Y. M. Chen, R. J. Zhang, Y. X. Zheng, P. H. Mao, W. J. Lu and L. Y. Chen, J. Korean Phys. Soc. 53, 2299 (2008).
19. D. A. G. Bruggeman, Ann. Phys. 24, 636 (1935).
20. J. J. Moré in Lecture Notes in Mathematics, edited by G. A. Watson (Springer, Berlin, 1978), p. 630.
21. P. L. Washington, H. C. Ong, J. Y. Dai and R. P. H. Chang, Appl. Phys. Lett. 72, 3261 (1998).
22. R. Dahmani, L. Salamanca-Riba, N. V. Nguyen, D. Chandler-Horowitz and B. T. Jonker, J. Appl. Phys. 76, 514 (1994).
23. U. Ozgur, Ya. I. Alivov, C. Liu, A. Teke, M. A. Reshchikov, S. Dogan, V. Avrutin, S. J. Cho and H. Morkoç, J. Appl. Phys. 98, 041301 (2005).
24. H. G. Tompkins and W. A. McGahan, Spectroscopic Ellipsometry and Reflectometry (John Wiley & Sons, Inc., New York, 1999), p. 93.
25. A. R. Forouhi and I. Bloomer, Phys. Rev. B 34, 7018 (1986).
26. A. R. Forouhi and I. Bloomer, Phys. Rev. B 38, 1865 (1988).
27. H. Yoshikawa and S. Adachi, Jpn. J. Appl. Phys. 36, 6237 (1997).
28. E. Dumont, B. Dugnoille and S. Bienfait, Thin Solid Films 353, 93 (1999).