Gradual photochemical-induced conversion of liquid polydimethylsiloxane layers to carbon containing silica coatings by VUV irradiation at 172 nm

Langmuir

Volumn 25, Issue 12, 2009, Pages 7129-7134

  Dölle, Christopher ^a   Papmeyer, Marcus ^a   Ott, Matthias ^a   Vissing, Klaus ^a  

^a FRAUNHOFER INSTITUTE FOR MANUFACTURING TECHNOLOGY AND ADVANCED MATERIALS IFAM   (Germany)

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ABSORPTION BAND; ATOMIC RATIO; CARBON CONTAINING; COATING PROPERTIES; COATING TECHNOLOGIES; EXCIMER LAMPS; FIELD EMISSION SCANNING ELECTRON MICROSCOPY; FREQUENCY SHIFT; HIGH POTENTIAL; HIGH RESOLUTION; INFRARED REFLECTION ABSORPTION SPECTROSCOPY; IRRADIATION ENERGY DENSITY; LONGITUDINAL OPTICAL; NITROGEN ATMOSPHERES; POLYDIMETHYLSILOXANE PDMS; SCANNING FORCE MICROSCOPY; SILICA COATINGS; SMOOTH SURFACE; STRETCHING VIBRATIONS; THIN LIQUID LAYER; VUV IRRADIATION; VUV LIGHT; XPS MEASUREMENTS;

ABSORPTION; ATOMS; COATINGS; EMISSION SPECTROSCOPY; FIELD EMISSION; FIELD EMISSION MICROSCOPES; HIGH RESOLUTION ELECTRON MICROSCOPY; INFRARED SPECTROSCOPY; IRRADIATION; LIQUIDS; MICROCHANNELS; SCANNING; SCANNING ELECTRON MICROSCOPY; SCANNING TUNNELING MICROSCOPY; SILICA; SILICONES; STRETCHING; X RAY PHOTOELECTRON SPECTROSCOPY; XENON;

ABSORPTION SPECTROSCOPY;

EID: 66749094166     PISSN: 07437463     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/la900278t     Document Type: Article

References (21)

1. Wochnowski, H.; Klyszcz-Nasko, H.; Baalmann, A.; Vissmg, K.-D. Verfahren zur Herstellung einer permanenten Entformungsschichtdurch Plasma-polymerisation auf der Oberfläche eines Formteilwerkzeugs, ein nach dem Verfahren herstellbares Formwerkzeug und dessen Verwendung. German Patent DE 000010034737 C2, 2000.
2. Wagener, M.; Salz, D.; Vissing, K.-D. In Antibakterielle Oberflachen mit gezielter Biozidfreisetzung; Suchentrunk, R., Ed.; Jahrbuch für Oberflächentech-nik 61; Leuze Verlag: Bad Saulgau, Germany, 2005.
3. Vissing, K. D.; Stuke, H.; Baalmann, A.; Hufenbach, H.; Semrau, W. M. Verfahren zur korrosionsfesten Beschichtung von Metallsubstraten mittels Plas-mapolymerisation. German Patent DE 000019748240 C2, 1997.
4. Schnyder, B.; Lippert, T.; Kötz, R.; Wokaun, A.; Graubner, V.-M.; Nuyken, O. Surf. Sci. 2003, 532-535, 1067-1071.
5. Graubner, V.-M.; Jordan, R.; Nuyken, O.; Kötz, R.; Lippert, T.; Schnyder, B.; Wokaun, A. Polym. Mater. Sci. Eng. 2003, 88, 488-489.
6. Graubner, V.-M.; Jordan, R.; Nuyken, O.; Schnyder, B.; Lippert, T.; Kötz, R.; Wokaun, A. Macromolecules 2004, 37, 5936-5943.
7. Ichikawa, S. J. Appl. Phys. 2006, 100, 033510.
8. Ye, H.; Gu, Y.; Gracias, D. H. Langmuir 2006, 22, 1863-1868.
9. Joubert, O.; Hollinger, G.; Fiori, C.; Devine, R. A. B.; Paniez, P.; Pantel, R. J. Appl. Phys. 1991, 69, 6647-6651.
10. Awazu, K.; Onuki, H. Appl. Phys. Lett. 1996, 69, 482-484.
11. Mirley, C. L.; Koberstein, J. T. Langmuir 1995, 11, 1049-1052.
12. Tsao, M.-W.; Pfeifer, K.-H.; Rapolt, J. F.; Castner, D. G.; Häussling, L.; Ringsdorf, H. Macromolecules 1997, 30, 5913-5919.
13. Davis, K. M.; Tomozawa, M. J. Non-Cryst. Solids 1995, 185, 203-220.
14. Morimoto, Y.; Nozawa, S.; Hosono, H. Phys. Rev. B 1999, 59, 4066-4073.
15. Morrow, B. A.; McFarlan, A. J. J. Phys. Chem. 1992, 96, 1395-1400.
16. Grigorovich, A. L.; Lygin, V. I. J. Appl. Spectrosc. 1978, 28, 474-477.
17. Brunet-Bruneau, A.; Rivory, I.; Rafm, B.; Robic, J. Y.; Chaton, P. J. Appl. Phys. 1997, 82, 1330-1335.
18. Cefalas, A. C.; Sarantopoulu, E.; Gogolides, E.; Argitis, P. Microelectron. Eng. 2000, 53, 123-126.
19. Berdichevsky, Y.; Khandurina, J.; Guttmann, A.; Lo, Y.-H. Sens. Actuators B 2004, 97, 402-408.
20. Graubner, V.-M.; Clemens, D.; Gutberlet, T.; Kötz, R.; Lippert, T.; Nuyken, O.; Schnyder, B.; Wokaun, A. Langmuir 2005, 21, 8940-8946.
21. Ossikovski, R.; Drevillon, B.; Firon, M. J. Opt. Soc. Am. A 1995, 12, 1797-1804.