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Journal of Chemical Physics

Volumn 129, Issue 8, 2008, Pages

Vibrational activation in direct and precursor-mediated chemisorption of SiH4 on Si(100)

(4) Bisson, Ŕgis a Dang, Tung T a Sacchi, Marco a Beck, Rainer D a

a EPFL (Switzerland)

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SILICON;

GROUND-STATE; LOCAL MODES; SI(100); TRANSLATIONAL ENERGIES; VIBRATIONALLY EXCITED;

CHEMISORPTION;

EID: 50849099446 PISSN: 00219606 EISSN: None Source Type: Journal
DOI: 10.1063/1.2976563 Document Type: Article

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