Digital resonance tuning of high- Q Vm silicon photonic crystal nanocavities by atomic layer deposition

Applied Physics Letters

Volumn 91, Issue 16, 2007, Pages

  Yang, Xiaodong ^a   Chen, Charlton J ^a   Husko, Chad A ^a   Wong, Chee Wei ^a  

^a Howard Hughes Medical Institute   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ATOMIC LAYER DEPOSITION; MICROCAVITIES; PERTURBATION TECHNIQUES; PHOTONIC CRYSTALS; SILICON;

HAFNIUM OXIDE; MATCHING RESONANCES; OPTICAL CAVITIES;

LASER TUNING;

EID: 35548962740     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.2800312     Document Type: Article

References (26)

1. B. S. Song, S. Noda, T. Asano, and Y. Akahane, Nat. Mater. 4, 207 (2005).
2. E. Kuramochi, M. Notomi, S. Mitsugi, A. Shinya, T. Tanabe, and T. Watanabe, Appl. Phys. Lett. 88, 041112 (2006).
3. P. E. Barclay, K. Srinivasan, and O. Painter, Opt. Express 13, 801 (2005).
4. T. Tanabe, M. Notomi, S. Mitsugi, A. Shinya, and E. Kuramochi, Appl. Phys. Lett. 87, 151112 (2005).
5. X. Yang, C. Husko, M. Yu, D.-L. Kwong, and C. W. Wong, Appl. Phys. Lett. 91, 051113 (2007).
6. H. Rong, S. Xu, Y. H. Kuo, V. Sih, O. Cohen, O. Raday, and M. Paniccia, Nat. Photonics 1, 232 (2007).
7. X. Yang and C. W. Wong, Opt. Express 15, 4763 (2007).
8. R. Bose, X. Yang, R. Chatterjee, J. Gao, and C. W. Wong, Appl. Phys. Lett. 90, 111117 (2007).
9. E. Peter, P. Senellart, D. Martrou, A. Lemàtre, J. Hours, J. M. Ǵrard, and J. Bloch, Phys. Rev. Lett. 95, 067401 (2005).
10. C. W. Wong, P. Rakich, S. G. Johnson, M. Qi, H. I. Smith, L. C. Kimerling, E. P. Ippen, Y.-B. Jeon, G. Barbastathis, and S.-G. Kim, Appl. Phys. Lett. 84, 1242 (2004).
11. K. Hennessy, A. Badolato, A. Tamboli, P. M. Petroff, E. Hu, M. Atatüre, J. Dreiser, and A. Imamoglu, Appl. Phys. Lett. 87, 021108 (2005).
12. S. Mosor, J. Hendrickson, B. C. Richards, J. Sweet, G. Khitrova, H. M. Gibbs, T. Yoshie, A. Scherer, O. B. Shchekin, and D. G. Deppe, Appl. Phys. Lett. 87, 141105 (2005).
13. S. Strauf, M. T. Rakher, I. Carmeli, K. Hennessy, C. Meier, A. Badolato, M. J. A. DeDood, P. M. Petroff, E. L. Hu, E. G. Gwinn, and D. Bouwmeester, Appl. Phys. Lett. 88, 043116 (2006).
14. M. F. Al-Kuhaili, Opt. Mater. (Amsterdam, Neth.) 27, 383 (2004).
15. T. S. Eriksson, A. Hjortsberg, G. A. Niklasson, and C. G. Granqvist, Appl. Opt. 20, 2742 (1981).
16. K. Awazu, M. Fujimaki, X. Wang, A. Sai, and Y. Ohki, in Nanoengineered Assemblies and Advanced Micro/Nanosystems, MRS Symposia Proceedings No. 820 (Materials Research Society, Pittsburgh, 2004), p. R4.5.
17. J. S. King, C. W. Neff, C. J. Summers, W. Park, S. Blomquist, E. Forsythe, and D. Morton, Appl. Phys. Lett. 83, 2566 (2003).
18. A. Rugge, J. S. Becker, R. G. Gordon, and S. H. Tolbert, Nano Lett. 3, 1293 (2003).
19. J. H. Lee, W. Leung, J. Ahn, T. Lee, I. S. Park, K. Constant, and K. M. Ho, Appl. Phys. Lett. 90, 151101 (2007).
20. J. Y. Huang, X. D. Wang, and Z. L. Wang, Nano Lett. 6, 2325 (2006).
21. E. Graugnard, D. P. Gaillot, S. N. Dunham, C. W. Neff, T. Yamashita, and C. J. Summers, Appl. Phys. Lett. 89, 181108 (2006).
22. A. Deshpande, R. Inman, G. Jursich, and C. Takoudis, J. Vac. Sci. Technol. A 22, 2035 (2004).
23. A. Farjadpour, D. Roundy, A. Rodriguez, M. Ibanescu, P. Bermel, J. D. Joannopoulos, S. G. Johnson, and G. Burr, Opt. Lett. 31, 2972 (2006).
24. M. Skorobogatiy, G. B́gin, and A. Talneau, Opt. Express 13, 2487 (2005).
25. S. G. Johnson and J. D. Joannopoulos, Opt. Express 8, 173 (2001).
26. M. J. Biercuk, D. J. Monsma, C. M. Marcus, J. S. Becker, and R. G. Gordon, Appl. Phys. Lett. 83, 2405 (2003).