Micromechanical resonators fabricated from lattice-matched and etch-selective GaAsInGaPGaAs heterostructures

Applied Physics Letters

Volumn 91, Issue 13, 2007, Pages

  Shim, Seung Bo ^a   Chun, June Sang ^a,d   Kang, Seok Won ^a,e   Cho, Sung Wan ^a   Cho, Sung Woon ^a   Park, Yun Daniel ^a   Mohanty, Pritiraj ^b   Kim, Nam ^c   Kim, Jinhee ^c  

^a Seoul National University   (South Korea)

^b Boston University   (United States)

^c Korea Research Institute of Standards and Science   (South Korea)

^d Hynix Semiconductor Inc   (South Korea)

^e Samsung LCD   (South Korea)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ETCHING; LATTICE MISMATCH; MEMS; NATURAL FREQUENCIES; SEMICONDUCTING GALLIUM ARSENIDE; SEMICONDUCTING INDIUM PHOSPHIDE;

BEAM RESONATORS; PADDLE-SHAPED RESONATORS; Q FACTOR;

RESONATORS;

EID: 34848828172     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.2790482     Document Type: Article

References (27)

1. A. N. Cleland, Foundations of Nanomechanics (Springer, Berlin, 2002).
2. A. N. Cleland, M. Pophristic, and I. Ferguson, Appl. Phys. Lett. 79, 2070 (2001).
3. Y. T. Yang, K. L. Ekinci, X. M. H. Huang, L. M. Schiavone, M. L. Roukes, C. A. Zorman, and M. Mehregany, Appl. Phys. Lett. 78, 162 (2001).
4. M. Imboden, P. Mohanty, A. Gaidarzhy, J. Rankin, and B. W. Sheldon, Appl. Phys. Lett. 90, 173502 (2007).
5. A. N. Cleland, J. S. Aldridge, D. C. Driscoll, and A. C. Gossard, Appl. Phys. Lett. 0003-6951 10.1063/1.1497436 81, 1699 (2002); R. Knobel and A. N. Cleland, Appl. Phys. Lett. 0003-6951 10.1063/1.1507616 81, 2258 (2002); H. X. Tang, X. M. H. Huang, M. L. Roukes, M. Bichler, and W. Wegscheider, Appl. Phys. Lett. 0003-6951 10.1063/1.1516237 81, 3879 (2002); R. G. Knobel and A. N. Cleland, Nature (London) 424, 291 (2003).
6. A. N. Cleland, J. S. Aldridge, D. C. Driscoll, and A. C. Gossard, Appl. Phys. Lett. 0003-6951 10.1063/1.1497436 81, 1699 (2002); R. Knobel and A. N. Cleland, Appl. Phys. Lett. 0003-6951 10.1063/1.1507616 81, 2258 (2002); H. X. Tang, X. M. H. Huang, M. L. Roukes, M. Bichler, and W. Wegscheider, Appl. Phys. Lett. 0003-6951 10.1063/1.1516237 81, 3879 (2002); R. G. Knobel and A. N. Cleland, Nature (London) 424, 291 (2003).
7. A. N. Cleland, J. S. Aldridge, D. C. Driscoll, and A. C. Gossard, Appl. Phys. Lett. 0003-6951 10.1063/1.1497436 81, 1699 (2002); R. Knobel and A. N. Cleland, Appl. Phys. Lett. 0003-6951 10.1063/1.1507616 81, 2258 (2002); H. X. Tang, X. M. H. Huang, M. L. Roukes, M. Bichler, and W. Wegscheider, Appl. Phys. Lett. 0003-6951 10.1063/1.1516237 81, 3879 (2002); R. G. Knobel and A. N. Cleland, Nature (London) 424, 291 (2003).
8. A. N. Cleland, J. S. Aldridge, D. C. Driscoll, and A. C. Gossard, Appl. Phys. Lett. 0003-6951 10.1063/1.1497436 81, 1699 (2002); R. Knobel and A. N. Cleland, Appl. Phys. Lett. 0003-6951 10.1063/1.1507616 81, 2258 (2002); H. X. Tang, X. M. H. Huang, M. L. Roukes, M. Bichler, and W. Wegscheider, Appl. Phys. Lett. 0003-6951 10.1063/1.1516237 81, 3879 (2002); R. G. Knobel and A. N. Cleland, Nature (London) 424, 291 (2003).
9. S. Gigan, H. R. Bohm, M. Paternostro, F. Blaser, G. Langer, J. B. Hertzberg, K. C. Schwab, D. Bauerle, M. Aspelmeyer, and A. Zeilinger, Nature (London) 0028-0836 10.1038/nature05273 444, 67 (2006); D. Kleckner and D. Bouwmeester, Nature (London) 444, 75 (2006).
10. S. Gigan, H. R. Bohm, M. Paternostro, F. Blaser, G. Langer, J. B. Hertzberg, K. C. Schwab, D. Bauerle, M. Aspelmeyer, and A. Zeilinger, Nature (London) 0028-0836 10.1038/nature05273 444, 67 (2006); D. Kleckner and D. Bouwmeester, Nature (London) 444, 75 (2006).
11. J. A. H. Stotz, R. Hey, P. V. Santos, and K. H. Ploog, Nat. Mater. 1476-1122 10.1038/nmat1430 4, 585 (2005); H. Knotz, A. W. Holleitner, J. Stephens, R. C. Myers, and D. D. Awschalom, Appl. Phys. Lett. 88, 241918 (2006).
12. J. A. H. Stotz, R. Hey, P. V. Santos, and K. H. Ploog, Nat. Mater. 1476-1122 10.1038/nmat1430 4, 585 (2005); H. Knotz, A. W. Holleitner, J. Stephens, R. C. Myers, and D. D. Awschalom, Appl. Phys. Lett. 88, 241918 (2006).
13. P. Mohanty, D. A. Harrington, K. L. Ekinci, Y. T. Yang, M. J. Murphy, and M. L. Roukes, Phys. Rev. B 66, 085416 (2002).
14. G. Zolfagharkhani, A. Gaidarzhy, S. B. Shim, R. L. Badzey, and P. Mohanty, Phys. Rev. B 72, 224101 (2005).
15. S. S. Verbridge, J. M. Parpia, R. B. Reichenbach, L. M. Bellan, and H. G. Craighead, J. Appl. Phys. 0021-8979 10.1063/1.2204829 99, 124304 (2006); S. S. Verbridge, D. F. Shapiro, H. G. Craighead, and J. M. Parpia, Nano Lett. 7, 1728 (2007).
16. S. S. Verbridge, J. M. Parpia, R. B. Reichenbach, L. M. Bellan, and H. G. Craighead, J. Appl. Phys. 0021-8979 10.1063/1.2204829 99, 124304 (2006); S. S. Verbridge, D. F. Shapiro, H. G. Craighead, and J. M. Parpia, Nano Lett. 7, 1728 (2007).
17. K. Hjort, J. Micromech. Microeng. 6, 370 (1996).
18. J. Lothian, J. Kuo, F. Ren, and S. Pearton, J. Electron. Mater. 0361-5235 10.1007/BF02660409 21, 441 (1992); M. J. Cich, J. A. Johnson, G. M. Peake, and O. B. Spahn, Appl. Phys. Lett. 82, 651 (2003).
19. J. Lothian, J. Kuo, F. Ren, and S. Pearton, J. Electron. Mater. 0361-5235 10.1007/BF02660409 21, 441 (1992); M. J. Cich, J. A. Johnson, G. M. Peake, and O. B. Spahn, Appl. Phys. Lett. 82, 651 (2003).
20. H. K. Choi, J. S. Lee, S. W. Cho, W. O. Lee, S. B. Shim, and Y. D. Park, J. Appl. Phys. 101, 063906 (2007).
21. S. Evoy, D. W. Carr, L. Sekaric, A. Olkhovets, J. M. Parpia, and H. G. Craighead, J. Appl. Phys. 86, 6072 (1999).
22. M. V. Requa and K. L. Turner, Appl. Phys. Lett. 90, 173508 (2007).
23. R. L. Badzey, G. Zolfagharkhani, A. Gaidarzhy, and P. Mohanty, Appl. Phys. Lett. 85, 3587 (2004).
24. R. L. Badzey and P. Mohanty, Nature (London) 0028-0836 10.1038/nature04124 437, 995 (2005); R. Almog, S. Zaitsev, O. Shtempluck, and E. Buks, Appl. Phys. Lett. 0003-6951 10.1063/1.2430689 90, 013508 (2007); S. B. Shim, M. Imboden, and P. Mohanty, Science 316, 95 (2007).
25. R. L. Badzey and P. Mohanty, Nature (London) 0028-0836 10.1038/nature04124 437, 995 (2005); R. Almog, S. Zaitsev, O. Shtempluck, and E. Buks, Appl. Phys. Lett. 0003-6951 10.1063/1.2430689 90, 013508 (2007); S. B. Shim, M. Imboden, and P. Mohanty, Science 316, 95 (2007).
26. R. L. Badzey and P. Mohanty, Nature (London) 0028-0836 10.1038/nature04124 437, 995 (2005); R. Almog, S. Zaitsev, O. Shtempluck, and E. Buks, Appl. Phys. Lett. 0003-6951 10.1063/1.2430689 90, 013508 (2007); S. B. Shim, M. Imboden, and P. Mohanty, Science 316, 95 (2007).
27. C. Seoanez, F. Guinea, and A. H. Castro Neto, Europhys. Lett. 78, 60002 (2007).