Fabrication of two-dimensional periodic structures in an amorphous silicon film by four-beam interference lithography

Journal of the Korean Physical Society

Volumn 49, Issue SUPPL. 3, 2006, Pages

  Lee, Geon Joon ^a   Lee, YoungPak ^a   Kim, Kyung Rae ^a   Jang, Moon Ik ^a   Yoon, Chong Seung ^a   Ahn, Jinho ^a   Son, Yong Duck ^b   Jang, Jin ^b  

^a Hanyang University   (South Korea)

^b Kyung Hee University   (South Korea)

Author keywords

Amorphous silicon; Crystallization; Four beam interference lithography; Two dimensional periodic structure

Indexed keywords

EID: 33846393249     PISSN: 03744884     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: None     Document Type: Conference Paper

References (20)

1. K. M. Davis, K. Miura, N. Sugimoto and K. Hirao, Opt. Lett. 21, 1729 (1996).
2. S. Kawata, H.-B. Sun, T. Tanaka and K. Takada, Nature 412, 697 (2001).
3. B. H. Cumpston, S. P. Ananthavel, S. Barlow, D. L. Dyer, J. E. Ehrlich, L. L. Erskine, A. A. Heikal, S. M. Kuebler, I.-Y. S. Lee, D. McCord-Maughon, J. Qin, H. Röckel, M. Rumi, X.-L. Wu, S. R. Marder and J. W. Perry, Nature 398, 51 (1999).
4. Y. Kuroiwa, N. Takeshima, Y. Narita, S. Tanaka and K. Hirao, Opt. Express 12, 1908 (2004).
5. Q.-Z. Zhao, J.-R. Qio, X.-W. Jiang, E.-W. Dai, C.-H. Zhou and C.-S. Zhu, Opt. Express 13, 2089 (2005).
6. Y. Hayasaki, T. Sugimoto, A. Takita and N. Nishida, Appl. Phys. Lett. 87, 031101 (2005).
7. D. B. Wolfe, J. B. Ashcom, J. C. Hwang, C. B. Schaffer, E. Mazur and G. M. Whitesides, Adv. Mater. 15, 62 (2003).
8. G. J. Lee, S. H. Song, Y.-P. Lee, K. M. Kim, H. Cheong, C. S. Yoon, Y.-D. Son and J. Jang, Appl. Phys. Lett. 89, 151907 (2006).
9. W. S. Chang, J. Kim, S. H. Cho and M. Choi, J. Korean Phys. Soc. 47, 233 (2005).
10. J. Y. Yang, K. S. Yoon, Y. H. Do, C. O. Kim, J. P. Hong, S. O. Sohn, S. K. Min, H. J. Kim, E. K. Kim and Y. J. Park, J. Korean Phys. Soc. 45, 162 (2004).
11. S. H. Kim, H. Hiroshima and M. Komaro, J. Korean Phys. Soc. 45, 914 (2004).
12. G. J. Lee, Y. H. Jeong, C. H. Oh, E. K. Kim, Y.-P. Lee and D. W. Shin, J. Korean Phys. Soc. 46, 175 (2005).
13. S. Juodkazis, S. Matsuo, H. Misawa, V. Mizeikis, A. Marcinkevicius, H.-B. Sun, Y. Tokuda, M. Takahashi, T. Yoko and J. Nishi, Appl. Surf. Sci. 197, 705 (2002).
14. J. Servin, A. Egbert, A. Ostendorf, B. N. Chichkov, R. Houbertz, G. Domann, J. Schulz, C. Cronauer, L. Fröhlich and M. Popall, Opt. Lett. 28, 301 (2003).
15. J. Servin, R. Houbertz, C. Fallnich and B. N. Chichkov, Proc. SPIE 4941, 73 (2003).
16. G. J. Lee, J. Park, E. K. Kim, Y.-P. Lee, K. M. Kim, H. Cheong, C. S. Yoon, Y.-D. Son and J. Jang, Opt. Express 13, 6445 (2005).
17. J. B. Kim, G. J. Lee, Y.-P. Lee, J. Y. Rhee, K. W. Kim and C. S. Yoon, Appl. Phys. Lett. 89, 151111 (2006).
18. J. H. Kim, J. Kim, S. U. Lim, C. K. Kim, C. S. Yoon, G. J. Lee and Y.-P. Lee, J. Appl. Phys. 99, 08G311 (2006).
19. K. Kawamura, T. Ogawa, N. Sarukura, M. Hirano and H. Hosono, Appl. Phys. B 71, 119 (2000).
20. S. Shoji, H.-B. Sun and S. Kawata, Appl. Phys. Lett. 83, 608 (2003).