Abatement of SF6 and CF4 using an enhanced kerosene microwave plasma burner

Physics of Plasmas

Volumn 13, Issue 11, 2006, Pages

  Hun Shin, Dong ^a   Cheol Hong, Yong ^a   Cheon Cho, Soon ^a   Sup Uhm, Han ^a  

^a Ajou University   (South Korea)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

CARBON INORGANIC COMPOUNDS; FUEL INJECTION; GLOBAL WARMING; HYDROCARBONS; KEROSENE; OIL BURNERS; PLASMAS; SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURE;

LIQUID HYDROCARBON FUEL; PERFLUOROCOMPOUNDS; PLASMA BURNERS;

SULFUR COMPOUNDS;

EID: 33751561949     PISSN: 1070664X     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.2397044     Document Type: Article

References (18)

1. L. G. Meira Filho, B. A. Callander, and N. Harris, Climate Change 1995, The Science of Climate Change, edited by, J. T. Houghton, (Cambridge University Press, New York, 1996).
2. T. Gierczak, R. Talukdar, G. L. Vaghijiani, E. R. Lovejoy, and A. R. Ravishankara, J. Geophys. Res. 96, 5001 (1991).
3. J. J. Orlando, J. B. Burkholder, S. A. McKeen, and A. R. Ravishankara, J. Geophys. Res. 96, 5013 (1991).
4. M. B. Chang and S. J. Yu, Environ. Sci. Technol. 35, 1587 (2001).
5. A. Huang, G. Xia, F. J. Spiess, X. Chen, J. Rozak, S. L. Suib, T. Takahashi, Y. Hayashi, and H. Matsumoto, Res. Chem. Intermed. 27, 957 (2001).
6. D. T. Chen, M. M. David, G. V. D. Tiers, and J. N. Schroepfer, Environ. Sci. Technol. 32, 3237 (1998).
7. Y. Kabouzi, M. Moisan, J. C. Rostaing, C. Trassy, D. Gúrin, D. Ḱroack, and Z. Zakrzewski, J. Appl. Phys. 93, 9483 (2003).
8. M. T. Radoiu, Environ. Sci. Technol. 37, 3985 (2003).
9. Y. C. Hong, S. C. Cho, C. U. Bang, D. H. Shin, J. H. Kim, H. S. Uhm, and W. J. Yi, Appl. Phys. Lett. 88, 201502 (2006).
10. Y. C. Hong and H. S. Uhm, Phys. Plasmas 10, 3410 (2003).
11. Y. C. Hong, H. S. Uhm, B. J. Chun, S. K. Lee, S. K. Hwang, and D. S. Kim, Phys. Plasmas 13, 033508 (2006).
12. Y. C. Hong and H. S. Uhm, Phys. Plasmas 12, 053504 (2005).
13. Y. C. Hong, H. S. Kim, H. S. Uhm, M. J. Kim, S. H. Han, S. C. Ko, and S. K. Park, IEEE Trans. Plasma Sci. 33, 958 (2005).
14. A. Gutson and J. A. Bakken, J. Phys. D 31, 704 (1998).
15. K. M. Green, M. C. Borass, P. P. Woskov, G. J. Flores, K. Hadidi, and P. Thomas, IEEE Trans. Plasma Sci. 29, 399 (2001).
16. H. S. Uhm and S. H. Hong, Combust. Sci. Technol. 152, 147 (2000).
17. R. A. Bonham, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 33, 4157 (1994).
18. M. Miletić, O. Nešković, M. Veljković, and K. F. Zmbov, Rapid Commun. Mass Spectrom. 12, 753 (1998).