Substrate effects on the characteristics of (In 2O 3) 1-x (ZnO) x films

Journal of the Korean Physical Society

Volumn 48, Issue 6, 2006, Pages 1624-1627

  Park, J M ^a   Kim, J J ^a   Kim, H M ^a   Kim, J H ^a   Ryu, S W ^a   Park, S H ^a   Ahn, J S ^b  

^a Catholic University of Daegu   (South Korea)

^b Kyung Hee University   (South Korea)

Author keywords

(In 2O 3) 1 x; (ZnO) x; Plastic substrate; Poly carbonate; Polyethylene terephthalate; rf magnetron sputtering

Indexed keywords

EID: 33746034543     PISSN: 03744884     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: None     Document Type: Article

References (15)

1. T. Minami, T. Kakumu and S. Takata, J. Vac. Sci. Technol. A 14, 1704 (1996).
2. H. Hiramatsu, W. S. Seo and K. Koumoto, Chem. Mater. 10, 3033 (1998).
3. Y. Yan, S. J. Pennycook, J. Dai, R. P. H. Chang, A Wang and T. J. Marks, Appl. Phys Lett. 73, 2585 (1998).
4. S. H. Park, H. M. Kim, B. R. Rhee and E. Y. Gho, Jpn. J. Appl. Phys. 40, 1429 (2001).
5. H. M. Kim, S. K. Jeung, J. S. Ahn, Y. J. Kang and C. K. Je, Jpn. J. Appl. Phys. 42, 223 (2003).
6. K. Noda, H. Sato, H. Itaya and M. Yamada, Jpn. J. Appl. Phys. 42, 217 (2003).
7. S. Y. Sohn, H. M. Kim, S. H. Park and J. J. Lim, New Phys. 46, 332 (2003).
8. A. Kaijou, M. Ohyama, M. Shibata and K. Inoue, U. S. Patent, No. 5,972,527 (1999).
9. R. K Jain and R. C. Lind, J. Opt. Soc, Am. 73, 647 (1983).
10. H. Hiramatsu, W. S. Seo and K. Kumoto, Chem. Mater. 10, 3033 (1998).
11. T. Minami, J. Vac. Sci. Technol. A 17, 1765 (1999).
12. S. H. Park, H. M. Kim, B. R. Rhee, E. Y. Ko and S. S. Shon, Jpn. J. Appl. Phys. 40, 1429 (2001).
13. T. Minami, S. Takata, H. Sato and H. Sonohara, Jpn. J. Appl. Phys. 34, L971 (1995).
14. J. S. Hong, B. R. Rhee, J. J. Kim, S. H. Park, H. M. Kim and J. S. Ahn, J. Korean Phys. Soc. 45, S712 (2004).
15. S. Y. Sohn, H. M. Kim, S. H. Park and J. J. Kim, J. Korean Phys. Soc. 45, S732 (2004).