-
1
-
-
0031537647
-
-
Y. T. Lee, M. A. Lieberman, A. J. Lichtenberg, F. Bose, H. Baltes R. Patrick, J. Vac. Sci. Technol. 1997, 15, 113.
-
(1997)
J. Vac. Sci. Technol.
, vol.15
, pp. 113
-
-
Lee, Y.T.1
Lieberman, M.A.2
Lichtenberg, A.J.3
Bose, F.4
Baltes, H.5
Patrick, R.6
-
3
-
-
0037151205
-
-
D. Loffhagen, F. Sigeneger, R. Winkler, J. Phys. D: Appl. Phys. 2002, 35, 1768.
-
(2002)
J. Phys. D: Appl. Phys.
, vol.35
, pp. 1768
-
-
Loffhagen, D.1
Sigeneger, F.2
Winkler, R.3
-
4
-
-
0029777217
-
-
Z. Donko, K. Rozsa, R. C. Tobin, J. Phys. D: Appl. Phys. 1996, 29, 105.
-
(1996)
J. Phys. D: Appl. Phys.
, vol.29
, pp. 105
-
-
Donko, Z.1
Rozsa, K.2
Tobin, R.C.3
-
6
-
-
36449008636
-
-
A. Bogaerts, R. Gijbels, W. J. Goedheer, J. Appl. Phys. 1995, 78, 2233.
-
(1995)
J. Appl. Phys.
, vol.78
, pp. 2233
-
-
Bogaerts, A.1
Gijbels, R.2
Goedheer, W.J.3
-
10
-
-
0036467816
-
-
P. Roca i Cabarrocas, A. Fontcuberta i Morral, Y. Poissant, Thin Solid Films 2002, 403-404, 39.
-
(2002)
Thin Solid Films
, vol.403-404
, pp. 39
-
-
Roca i Cabarrocas, P.1
Fontcuberta i Morral, A.2
Poissant, Y.3
-
11
-
-
37649031252
-
-
K. De Bleecker, A. Bogaerts, R. Gijbels, W. Goedheer, Phys. Rev. E 2004, 69, 056409.
-
(2004)
Phys. Rev. E
, vol.69
, pp. 056409
-
-
De Bleecker, K.1
Bogaerts, A.2
Gijbels, R.3
Goedheer, W.4
-
12
-
-
4344568468
-
-
K. De Bleecker, A. Bogaerts, W. Goedheer, R. Gijbels, IEEE Trans. Plasma Sci. 2004, 32, 691.
-
(2004)
IEEE Trans. Plasma Sci.
, vol.32
, pp. 691
-
-
De Bleecker, K.1
Bogaerts, A.2
Goedheer, W.3
Gijbels, R.4
-
13
-
-
0034324652
-
-
U. V. Bhandarkar, M. T. Swihart, S. L. Girshick, U. R. Kortshagen, J. Phys. D: Appl. Phys. 2000, 33, 2731.
-
(2000)
J. Phys. D: Appl. Phys.
, vol.33
, pp. 2731
-
-
Bhandarkar, U.V.1
Swihart, M.T.2
Girshick, S.L.3
Kortshagen, U.R.4
-
16
-
-
41349113986
-
-
K. De Bleecker, A. Bogaerts, W. Goedheer, Phys. Rev. E 2004, 70, 056407.
-
(2004)
Phys. Rev. E
, vol.70
, pp. 056407
-
-
De Bleecker, K.1
Bogaerts, A.2
Goedheer, W.3
-
17
-
-
0033726713
-
-
J. E. Allen, B. M. Annaratone, U. De Angelis, J. Plasma Phys. 2000, 63, 299.
-
(2000)
J. Plasma Phys.
, vol.63
, pp. 299
-
-
Allen, J.E.1
Annaratone, B.M.2
De Angelis, U.3
-
18
-
-
27944499025
-
-
K. De Bleecker, A. Bogaerts, W. Goedheer, Phys. Rev. E 2005, 71, 066405.
-
(2005)
Phys. Rev. E
, vol.71
, pp. 066405
-
-
De Bleecker, K.1
Bogaerts, A.2
Goedheer, W.3
-
20
-
-
0037422652
-
-
Yu. B. Golubovskii, V. A. Maiorov, J. Behnke, J. F. Behnke, J. Phys. D: Appl. Phys. 2003, 36, 39.
-
(2003)
J. Phys. D: Appl. Phys.
, vol.36
, pp. 39
-
-
Golubovskii, Yu.B.1
Maiorov, V.A.2
Behnke, J.3
Behnke, J.F.4
-
22
-
-
28844436444
-
-
I. Kolev, A. Bogaerts, R. Gijbels, Phys. Rev. E 2005, 72, 056402.
-
(2005)
Phys. Rev. E
, vol.72
, pp. 056402
-
-
Kolev, I.1
Bogaerts, A.2
Gijbels, R.3
-
23
-
-
33644504215
-
-
private communication
-
G. Buyle, private communication.
-
-
-
Buyle, G.1
-
24
-
-
0037349867
-
-
V. Georgieva, A. Bogaerts, R. Gijbels, J. Appl. Phys. 2003, 93, 2369.
-
(2003)
J. Appl. Phys.
, vol.93
, pp. 2369
-
-
Georgieva, V.1
Bogaerts, A.2
Gijbels, R.3
-
25
-
-
0141955878
-
-
V. Georgieva, A. Bogaerts, R. Gijbels, J. Appl. Phys. 2003, 94, 3748.
-
(2003)
J. Appl. Phys.
, vol.94
, pp. 3748
-
-
Georgieva, V.1
Bogaerts, A.2
Gijbels, R.3
-
26
-
-
0037097968
-
-
K. Maeshige, G. Washio, T. Yagisawa, T. Makabe, J. Appl. Phys. 2002, 91, 9494.
-
(2002)
J. Appl. Phys.
, vol.91
, pp. 9494
-
-
Maeshige, K.1
Washio, G.2
Yagisawa, G.T.3
Makabe, T.4
-
27
-
-
37649029487
-
-
V. Georgieva, A. Bogaerts, R. Gijbels, Phys. Rev. E 2004, 69, 026406.
-
(2004)
Phys. Rev. E
, vol.69
, pp. 026406
-
-
Georgieva, V.1
Bogaerts, A.2
Gijbels, R.3
-
30
-
-
0036508123
-
-
J. Benedikt, K. G. Y. Letourneur, M. Wisse, D. C. Schram, M. C. M. van de Sanden, Diamond Relat. Matec. 2002, 11, 989.
-
(2002)
Diamond Relat. Matec.
, vol.11
, pp. 989
-
-
Benedikt, J.1
Letourneur, K.G.Y.2
Wisse, M.3
Schram, D.C.4
van de Sanden, M.C.M.5
-
31
-
-
9644300936
-
-
E. Neyts, A. Bogaerts, R. Gijbels, J. Benedikt, M. C. M. van de Sanden, Diamond Relat. Matec. 2004, 13, 1873.
-
(2004)
Diamond Relat. Matec.
, vol.13
, pp. 1873
-
-
Neyts, E.1
Bogaerts, A.2
Gijbels, R.3
Benedikt, J.4
van de Sanden, M.C.M.5
-
32
-
-
11344295838
-
-
E. Neyts, A. Bogaerts, R. Gijbels, J. Benedikt, M. C. M. van de Sanden, Nucl. Instr. Methods B 2005, 228, 315.
-
(2005)
Nucl. Instr. Methods B
, vol.228
, pp. 315
-
-
Neyts, E.1
Bogaerts, A.2
Gijbels, R.3
Benedikt, J.4
van de Sanden, M.C.M.5
-
33
-
-
28144444329
-
-
J. Benedikt, S. Agarwal, D. Eijkman, W. Vandamme, M. Creatore, M. C. M. van de Sanden, J. Vac. Sci. Technol. A 2005, 23, 1400.
-
(2005)
J. Vac. Sci. Technol. A
, vol.23
, pp. 1400
-
-
Benedikt, J.1
Agarwal, S.2
Eijkman, D.3
Vandamme, W.4
Creatore, M.5
van de Sanden, M.C.M.6
|