Generation of SiOC films by the thermal induction

Japanese Journal of Applied Physics, Part 1: Regular Papers and Short Notes and Review Papers

Volumn 44, Issue 3, 2005, Pages 1409-1413

  Oh, Teresa ^a  

^a Jeju National University   (South Korea)

Author keywords

Blue shift; Diels Alder reaction; Hybrid type SiOC films; Red shift; Thermal induction

Indexed keywords

CHEMICAL BONDS; CHEMICAL VAPOR DEPOSITION; CONDENSATION; OXIDATION; REACTION KINETICS; SILICON COMPOUNDS; X RAY PHOTOELECTRON SPECTROSCOPY;

BLUE SHIFT; DIELS-ALDER REACTION; HYBRID TYPE SIOC FILMS; RED SHIFT; THERMAL INDUCTION;

DIELECTRIC FILMS;

EID: 19944365944     PISSN: 00214922     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1143/JJAP.44.1409     Document Type: Article

References (15)

1. A. Grill and D. A. Neumayer: J. Appl. Phys. 94 (2003) 6697.
2. J. H. Kim, S. H. Seo, S. M. Yun, H. Y. Chang, K. M. Lee and C. K. Choi: Appl. Phys. Lett. 68 (1996) 1507.
3. Y. Ohkawara and H. Saitoh: Jpn. J. Appl. Phys. 40 (2001) 7007.
4. M. A. Tamor and C. H. Wu: J. Appl. Phys. 67 (1990) 1007.
5. S. Vallon, A. Hofrichter, B. Drevillon, J. E. Klemberg-Sapieha, L. Martinu and F. Poncin-Eaillard: Thin Solid Films 290-291 (1996) 68.
6. A. Nara and H. Itoh: Jpn. J. Appl. Phys. 36 (1997) 1477.
7. A. Grill and V. Patel: J. Appl. Phys. 85 (1999) 3314.
8. Y. H. Kim, S. K. Lee and H. J. Kim: J. Vac. Sci. Technol. A 18 (2000) 1216.
9. T. Oh, K. S. Oh, K. M. Lee and C. K. Choi: to be published in Thin Solid Films (2004).
10. X. Jun, C. S. Yang, H. R. Jang and C. K. Choi: J. Electrochem. Soc. 150 (2003) F206.
11. T. Oh, H. S. Kim, S. B. Oh and M. S. Won: Jpn. J. Appl. Phys. 42 (2003) 6292.
12. D. Costa, G. Martra, M. Che, L. Manceron and M. Kermarec: J. Am. Chem. Soc. 124 (2002) 7210.
13. H. Ahn and T. J. Marks: J. Am. Chem. Soc. 124 (2002) 7103.
14. T. Oh, K. S. Kim, K. M. Lee and C. K. Choi: Jpn. J. Appl. Phys. 43 (2004) 6354.
15. T. Oh, K. M. Lee, S. T. Ko, K. S. Kim, K. J. Ahn and C. K. Choi: Jpn. J. Appl. Phys. 42 (2003) 1517.