The determination of phases formed in AlSiCu/TiN/Ti contact metallization structure of integrated circuits by x-ray diffraction

Journal of Applied Physics

Volumn 83, Issue 1, 1998, Pages 132-138

  Fortin, V ^a   Gagnon, G ^a   Caron, M ^a   Gujrathi, S C ^a   Currie, J F ^a   Ouellet, L ^b   Tremblay, Y ^b   Biberger, M ^c  

^a ÉCOLE POLYTECHNIQUE DE MONTRÉAL   (Canada)

^b Mitel Networks Corporation   (Canada)

^c VARIAN MEDICAL SYSTEMS   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 11744338302     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.366710     Document Type: Article

References (32)

1. C. Y. Ting, J. Vac. Sci. Technol. 21, 14 (1982).
2. C. Y. Ting and M. Wittmer, Thin Solid Films 96, 327 (1982).
3. N. Kumar, K. Pourrezaci, B. Lee, and E. C. Douglas, Thin Solid Films 164, 417 (1988).
4. M. Wittmer, J. Vac. Sci. Technol. A 3, 1797 (1985).
5. J. M. Poitevin, D. Maheo, and G. Lemperiere, Thin Solid Films 176, 7 (1989).
6. M. Mändl, H. Hoffmann, and P. Kücher, J. Appl. Phys. 68, 2127 (1990).
7. Y. Inoue, S. Tanimoto, K. Tsujimura, T. Yamashita, Y. Ibara, Y. Yamashita, and K. Yoneda, J. Electrochem. Soc. 141, 1056 (1994).
8. G. Gagnon, J. F. Currie, G. Béïque, J. L. Brebner, S. C. Gujrathi, and L. Ouellet, J. Appl. Phys. 75, 1565 (1994).
9. G. Gagnon, J. F. Currie, J. L. Brebner, and T. Darwall, J. Appl. Phys. 79, 7612 (1996).
10. L. Roux, J. Hanus, J. C. François, and M. Sigrist, Sol. Energy Mater. 7, 299 (1982).
11. G. Gagnon, S. Gujrathi, M. Caron, J. F. Currie, L. Ouellet, Y. Tremblay, M. Biberger, and R. Reynolds, J. Appl. Phys. 80, 188 (1996).
12. L. Ouellet, Y. Tremblay, G. Gagnon, M. Caron, J. F. Currie, S. C. Gujrathi, M. Biberger, and R. Reynolds, J. Appl. Phys. 79, 4438 (1996).
13. L. Ouellet, Y. Tremblay, G. Gagnon, M. Caron, J. F. Currie, S. C. Gujrathi, and M. Biberger, J. Vac. Sci. Technol. B 14, 3502 (1996).
14. W. Sinke, G. P. A. Frijlink, and F. W. Saris, Appl. Phys. Lett. 47, 471 (1985).
15. H. Onoda, M. Kageyama, and K. Hashimoto, J. Appl. Phys. 77, 885 (1995).
16. M. Caron, G. Gagnon, V. Fortin, J. F. Currie, L. Ouellet, Y. Tremblay, M. Biberger, and R. Reynolds, J. Appl. Phys. 79, 4468 (1996).
17. A. S. Bhansali, R. Sinclair, and A. E. Morgan, J. Appl. Phys. 68, 1043 (1990).
18. G. I. Grigorov, D. G. Grigorov, M. Stoyanova, J. L. Vignes, J. P. Langeron, and P. Denjean, Appl. Phys. A: Solids Surf. 57, 195 (1993).
19. H. Onoda, R. Narita, and K. Hashimoto, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 34, 4728 (1995).
20. C. Y. Ting and M. Wittmer, J. Appl. Phys. 54, 937 (1983).
21. R. J. Nemanich, H. Jeon, C. A. Sukow, J. W. Honeycutt, and G. A. Rozgonyi, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 260, 195 (1992).
22. R. W. Bartlett, J. Electrochem. Soc. 111, 903 (1964).
23. S. W. Russel, J. W. Strane, J. W. Mayer, and S. Q. Wang, J. Appl. Phys. 76, 257 (1994).
24. R. Beyers, R. Sinclair, and M. E. Thomas, J. Vac. Sci. Technol. B 2, 781 (1984).
25. S. R. Ryu, D. S. Shin, J. E. Oh, J. S. Choi, S. H. Paek, S. I. Lee, J. K. Lee, T. U. Sim, J. G. Lee, and G. T. Sheng, Appl. Phys. Lett. 62, 579 (1993).
26. G. Gagnon, M. Caron, V. Fortin, J. F. Currie, S. C. Gujrathi, M. Faucher, Y. Tremblay, L. Ouellet, and M. Biberger (unpublished).
27. A. San-Martin and F. D. Manchester, Binary Alloy Phase Diagrams (American Society of Metals, Metals Park, OH, 1987).
28. D. Jawarani, J. P. Stark, H. Kawasaki, J. O. Olowolafe, C. C. Lee, J. Klein, and F. Pintchovski, J. Electrochem. Soc. 141, 302 (1994).
29. M. Okihara, N. Hirashita, K. Hashimoto, and H. Onoda, Appl. Phys. Lett. 66, 1328 (1995).
30. A. Armigliato and G. Valdré, J. Appl. Phys. 61, 390 (1987).
31. H. Shibata, M. Murota, and K. Hashimoto, Jpn. J. Appl. Phys. 32 Part I, No. 10, 4479 (1993).
32. R. W. Bower, Appl. Phys. Lett. 23, 99 (1973).