Improvement in ferroelectric properties of SrBi2Ta2O9 thin films with Bi2O3 buffer layers by liquid-delivery metalorganic chemical-vapor deposition

Applied Physics Letters

Volumn 79, Issue 10, 2001, Pages 1519-1521

  Shin, Woong Chul ^a   Yoon, Soon Gil ^a  

^a Chungnam National University   (South Korea)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0346453003     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.1400077     Document Type: Article

References (14)

1. C. A. Paz de Araujo, L. D. McMillan, J. D. Cuchiaro, and M. C. Scott, International Patent Publication No. WO 93/12542 (1993).
2. J. F. Scott, F. M. Ross, C. A. Paz de Araujo, M. C. Scott, and M. Huffman, Mater. Res. Bull. 20, 33 (1996).
3. K. Amanuma, T. Hase, and Y. Miyasaka, Appl. Phys. Lett. 66, 221 (1995).
4. R. Dat, J. K. Lee, O. Auciello, and A. I. Kingon, Appl. Phys. Lett. 67, 572 (1995).
5. S. S. Park, C. H. Yang, J. H. Ahn, H. G. Kim, and S. G. Yoon, J. Electrochem. Soc. 144, 2855 (1997).
6. N. J. Seong, S. S. Lee, and S. G. Yoon, Appl. Phys. Lett. 71, 81 (1997).
7. T. Li, Y. Zhu, S. B. Desu, C. H. Peng, and M. Nagata, Appl. Phys. Lett. 68, 616 (1996).
8. Y. Zhu, S. B. Desu, T. Li, S. Ramanathan, and M. Nagata, J. Mater. Res. 12, 783 (1997).
9. J. S. Kim, C. H. Yang, W. Y. Choi, H. G. Kim, and S. G. Yoon, Appl. Surf. Sci. 140, 150 (1999).
10. C. D. Gutleben, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 433, 109 (1996).
11. T. Atsuki, N. Soyama, T. Yonezawa, and K. Ogi, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 34, 5096 (1995).
12. N. J. Seong, C. H. Yang, W. C. Shin, and S. G. Yoon, Appl. Phys. Lett. 72, 1374 (1998).
13. W. C. Shin, K. J. Choi, and S. G. Yoon (unpublished).
14. J. C. Lee and S. G. Yoon, J. Vac. Sci. Technol. B 17, 2182 (1999).