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Volumn 53, Issue 5, 2003, Pages 359-371

Anisotropic etching of p-Si in HF solution

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EID: 0242381990     PISSN: 03230465     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: None     Document Type: Article
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* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.