Measurement of oxygen atom density employing vacuum ultraviolet absorption spectroscopy with microdischarge hollow cathode lamp

Review of Scientific Instruments

Volumn 74, Issue 7, 2003, Pages 3453-3459

  Nagai, Hisao ^a   Hiramatsu, Mineo ^b   Hori, Masaru ^a   Goto, Toshio ^a  

^a NAGOYA UNIVERSITY   (Japan)

^b MEIJO UNIVERSITY   (Japan)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ABSORPTION SPECTROSCOPY; LIGHT SOURCES; PLASMAS; ULTRAVIOLET RADIATION;

MICRODISCHARGE HOLLOW CATHODE LAMP (MHCL);

OXYGEN;

EID: 0042266887     PISSN: 00346748     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.1582386     Document Type: Article

References (26)

1. O. Jubert, J. Pelletier, and Y. Arnal, J. Appl. Phys. 65, 5096 (1989).
2. T. E. F. M. Standaert et al., J. Vac. Sci. Technol. A 19, 435 (2001).
3. S. Panda, D. J. Economou, and L. Chan, J. Vac. Sci. Technol. A 19, 398 (2001).
4. K. Kim, M. H. An, Y. G. Shin, M. S. Suh, C. J. Youn, Y. H. Lee, K. B. Lee, and H. J. Lee, J. Vac. Sci. Technol. B 14, 2667 (1996).
5. T. Ueno, A. Morioka, S. Chikamura, and Y. Iwasaki, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 39, L327 (2000).
6. M. Brake, J. Hinkle, J. Asmussen, M. Hawley, and R. Kerber, Plasma Chem. Plasma Process. 3, 63 (1983).
7. J. P. Booth and N. Sadeghi, J. Appl. Phys. 70, 611 (1991).
8. H. M. Katsch, A. Tewes, E. Quandt, A. Goehlich, T. Kawetzki, and H. F. Döbele, J. Appl. Phys. 88, 6232 (2000).
9. J. Amoorim, G. Baravian, M. Touzeau, and J. Jolly, J. Appl. Phys. 76, 1487 (1994).
10. J. Collart, J. A. G. Baggerman, and R. J. Visser, J. Appl. Phys. 78, 47 (1995).
11. R. E. Walkup, K. L. Saenger, and G. S. Selwyn, J. Chem. Phys. 84, 2668 (1986).
12. Angeliki D. Tserepi and T. A. Miller, J. Appl. Phys. 77, 505 (1995).
13. J. Matsushita, K. Sasaki, and K. Kadota, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 36, 4747 (1997).
14. J. P. Booth, O. Joubert, J. Pelletier, and N. Sadeghi, J. Appl. Phys. 69, 618 (1991).
15. S. Takashima, M. Hori, T. Goto, A. Kono, M. Ito, and K. Yoneda, Appl. Phys. Lett. 75, 3929 (1999).
16. S. Takashima, S. Arai, A. Kono, M. Ito, K. Yoneda, M. Hori, and T. Goto, J. Vac. Sci. Tschnol. A 19, 599 (2001).
17. H. Nagai, S. Takashima, M. Hiramatsu, M. Hori, and T. Goto, J. Appl. Phys. 91, 2615 (2002).
18. S. Takashima, A. Kono, K. Yoneda, M. Hori, and T. Goto, J. Appl. Phys. 90, 5497 (2001).
19. K. Tachibana and H. Kamisugi, Appl. Phys. Lett. 74, 2390 (1999).
20. H. Ito, K. Teii, H. Funakoshi, M. Hori, T. Goto, M. Ito, and T. Takeo, J. Appl. Phys. 88, 4537 (2000).
21. H. Okabe, Photochemistry of Small Molecules (Wiley, New York, 1978).
22. Y. Tanaka, J. Chem. Phys. 20, 1728 (1952).
23. H. Singh, J. W. Coburn, and D. B. Graves, J. Appl. Phys. 88, 3748 (2000).
24. Y. Kawai, K. Sasaki, and K. Kadota, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 36, L1261 (1997).
25. R. C. Reid, J. M. Prausnitz, and T. K. Sherwood, The Properties of Gases and Liquids (McGraw-Hill, New York, 1977).
26. R. A. Svehla, NASA Tech. Rep. No. R-132, 1962.