Epitaxial growth of Gd silicides prepared by channeled ion implantation

Journal of Applied Physics

Volumn 81, Issue 7, 1997, Pages 3103-3107

  Jin, S ^a   Bender, H ^a   Wu, M F ^b,c   Vantomme, A ^c   Pattyn, H ^c   Langouche, G ^c  

^a IMEC   (Belgium)

^b PEKING UNIVERSITY   (China)

^c UNIVERSITY OF LEUVEN   (Belgium)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0038713785     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.364344     Document Type: Article

References (20)

1. J. A. Knapp and S. T. Picraux, Appl. Phys. Lett. 48, 466 (1986).
2. K. N. Tu, R. D. Thompson, and B. Y. Tsaur, App. Phys. Lett. 38, 626 (1981).
3. C. Youn, K. Jungling, and W. W. Grannemann, J. Vac.-Sci. Technol. A 6, 2474 (1988).
4. G. Molnár, I. Geröcs, G. Petö, E. Zsoldos, E. Jároli, and J. Gyulai, J. Appl. Phys. 64, 6746 (1988).
5. T. L. Lee, L. J. Chen, and F. R. Chen, J. Appl. Phys. 71, 3307 (1992).
6. N. Fringis, G. Van Tendeloo, J. Van Landuyt, P. Muret, and T. T. A. Nguyen, J. Alloys Compd. 234, 244 (1996).
7. H. Bender, M. F. Wu, A. Vantomme, H. Pattyn, and G. Langouche, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 402, 499 (1996).
8. C. Vannuffel, Inst. Phys. Conf. Ser. 146, 537 (1995).
9. G. Molnár, G. Petö, E. Zsoldos, Z. E. Horváth, and N. Q. Khan (unpublished).
10. S. Mantl, Mater. Sci. Rep. 8, 1 (1992).
11. C. M. Osburn, in Rapid Thermal Processing, edited by R. B. Fair (Academic, Boston, 1993).
12. A. E. White, K. T. Short, R. C. Dynes, J. P. Garno, and J. M. Gibson, Appl. Phys. Lett. 50, 95 (1987).
13. M. F. Wu, J. De Wachter, A. M. Van Bavel, H. Pattyn, G. Langouche, J. Vanhellemont, H. Bender, K. Temst, B. Wuyts, and Y. Bruynseraede, J. Appl. Phys. 75, 1201 (1994).
14. M. F. Wu, A. Vantomme, J. De Wachter, S. Degroote, H. Pattyn, G. Langouche, and H. Bender, J. Appl. Phys. 79, 6920 (1996).
15. S. Jin, J. H. Lin, L. J. Chen, W. D. Shi, and Z. Zhang, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 96, 347 (1995).
16. M. F. Wu, A. Vantomme, H. Pattyn, G. Langouche, and H. Bender, Appl. Phys. Lett. 68, 3260 (1996).
17. M. F. Wu, A. Vantomme, H. Pattyn, G. Langouche, and H. Bender, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 427, 535 (1996).
18. H. Bender, S. Jin, M. F. Wu, A. Vantomme, H. Pattyn, and G. Langouche, XI European Congress on Microscopy, EUREM, Dublin 26-30 August 1996 (unpublished).
19. H. von Känel, Mater. Sci. Rep. 8, 193 (1992).
20. C. Jaussand, J. Margall, J. Stoemenos, and M. Bruel, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 107, 17 (1988).