Comprehensive Rutherford backscattering and channeling study of ion-beam-synthesized ErSi1.7 layers

Journal of Applied Physics

Volumn 79, Issue 9, 1996, Pages 6920-6925

  Wu, M F ^a,b   Vantomme, A ^b,d   De Wachter, J ^b   Degroote, S ^b,d   Pattyn, H ^b   Langouche, G ^b   Bender, H ^c  

^a PEKING UNIVERSITY   (China)

^b KU LEUVEN   (Belgium)

^c IMEC   (Belgium)

^d NFWO   (Belgium)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0342947803     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.361516     Document Type: Article

References (23)

1. S. P. Muraka, Silicides for VLSI Applications (Academic, New York, 1983).
2. R. T. Tung, J. M. Poate, J. C. Bean, J. M. Gibson, and D. C. Jacobson, Thin Solid Films 93, 77 (1982).
3. J. Derrien and F. Arnaud d'Avitaya, J. Vac. Sci. Technol. A 5, 2111 (1987).
4. R. T. Tung and F. Schrey, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 122, 559 (1988).
5. J. A. Knapp and S. T. Picraux, Appl. Phys. Lett. 48, 466 (1986).
6. J. A. Knapp and S. T. Picraux, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 54, 261 (1986).
7. M. P. Siegal, F. H. Kaatz, W. R. Graham, J. J. Santiago, and J. Van der Spiegel, Appl. Surf. Sci. 38, 162 (1989).
8. J. Y. Duboz, P. A. Badoz, A. Perio, J. C. Oberlin, F. Arnaud d'Avitaya, Y. Campidelli, and J. A. Chroboczek, Appl. Surf. Sci. 38, 171 (1989).
9. J. Y. Duboz, P. A. Badoz, F. Arnaud d'Avitaya, and J. A. Chroboczek, Appl. Phys. Lett. 55, 84 (1989).
10. J. E. E. Baglin, F. M. d'Heurle, and C. S. Petersson, Appl. Phys. Lett. 36, 594 (1980).
11. F. Arnaud d'Avitaya, P. A. Badoz, Y. Campidelli, J. A. Chroboczek, J. Y. Duboz, A. Perio, and J. Pierre, Thin Solid Films 184, 283 (1990).
12. F. H. Kaatz, M. P. Siegel, W. R. Graham, J. Van der Spiegel, and J. J. Santiago, Thin Solid Films 184, 325 (1990).
13. A. E. White, K. T. Short, R. C. Dynes, J. P. Garno, and J. M. Gibson, Appl. Phys. Lett. 50, 95 (1987).
14. M. F. Wu, A. Vantomme, G. Langouche, H. Vanderstraeten, and Y. Bruynseraede, Nucl. Instrum. Methods B 54, 444 (1991).
15. S. Mantl, Mater. Sci. Rep. 8, 1 (1992).
16. M. F. Wu, J. De Wachter, A.-M. Van Bavel, R. Moons, A. Vantomme, H. Pattyn, G. Langouche, H. Bender, J. Vanhellemont, K. Temst, and Y. Bruynseraede, J. Appl. Phys. 78, 1707 (1995).
17. A. Golanski, W. H. Christie, M. D. Galloway, J. L. Park, S. J. Pennycook, D. B. Poker, J. L. Moore, H. E. Harmon, and C. W. White, Nucl Instrum. Methods B 59/60, 444 (1991).
18. M. F. Wu, A. Vantomme, H. Pattyn, G. Langouche, and H. Bender, Appl. Surf. Sci. (to be published).
19. M. F. Wu, A. Vantomme, H. Pattyn, and G. Langouche, Appl. Phys. Lett. 67, 3886 (1995).
20. G. Bai, M.-A. Nicolet, J. E. Mahan, and K. M. Geib, Phys. Rev. B 41, 8603 (1990).
21. L. Eriksson and J. A. Davies, Ark. Fys. 39, 439 (1969).
22. H. Bender, M. F. Wu, A. Vantomme, H. Pattyn, and G. Langouche, MRS Symp. Proc. (to be published).
23. B. R. Appleton and G. Foti, in Ion Beam Handbook for Material Analysis, edited by J. W. Mayer and E. Rimini (Academic, London, 1977), p. 67.