Electrochemistry of Hypochlorite at Silicon in Alkaline Etchants: Applications in Device Fabrication

Journal of the Electrochemical Society

Volumn 148, Issue 5, 2001, Pages

  Xia, X H ^a,b   Kelly, J J ^a  

^a UTRECHT UNIVERSITY   (Netherlands)

^b NANJING UNIVERSITY   (China)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0038126831     PISSN: 00134651     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1149/1.1359203     Document Type: Article

References (22)

1. P. M. M. C. Bressers, I. J. Kelly, H. J. M. Gardeniers, and M. Elwenspoek, J. Electrochem. Soc., 143, 1744 (1996).
2. X. H. Xia and J. J. Kelly, Electrochim. Acta, 45, 4645 (2000).
3. U. Schnakenberg, W. Benecke, B. Loechel, S. Ullerich, and P. Lange, Sens, Actuators A, 25, 1 (1991).
4. X. H. Xia, C. M. A. Ashruf, P. J. French, and J. J. Kelly, Chem. Mater., 12, 1671 (2000).
5. C. M. A. Ashruf, Ph.D. Thesis, Delft University Press, Delft, The Netherlands (2000).
6. C. M. A. Ashruf, P. J. French, P. M. M. C. Bressers, P. M. Sarro, and J. J. Kelly, Sens, Actuators, A66, 284 (1998).
7. C. M. A. Ashruf, P. J. French, P. M. Sarro, W. v. d. Vlist, E. L. Ocmar, L. J. Breems, and J. J. Kelly, in Proceedings of Transducers '99, p. 560, Sendai, Japan (1999).
8. X. H. Xia, C. M. A. Ashruf, P. J. French, J. Rappich, and J. J. Kelly, J. Phys. Chem., Submitted.
9. P. M. M. C. Bressers, S. A. S. P. Pagano, and J. J. Kelly, J. Electroanal. Chem., 391, 159 (1995).
10. P. H. L. Notten, J. Electroanal. Chem., 224, 211 (1987).
11. B. P. Minks, M. Wiegel, and J. J. Kelly, Electrochim. Acta, 36, 695 (1991).
12. P. H. L. Notten, J. E. A. M. van den Meerakker, and J. J. Kelly, Etchinh of III-V Semiconductors, An Electrochemical Approach, Elsevier, Oxford (1991).
13. J. J. Kelly, B. P. Minks, N. A. M. Verheegh, J. Stumper, and L. M. Peter, Electrochim. Acta. 37, 909 (1992).
14. E. S. Kooij, S. M. Noordhoek, and J. J. Kelly, J. Phys. Chem., 100, 10754 (1996).
15. P. M. M. C. Bressers, M. Plakman, and J. J. Kelly, J. Electroanal. Chem., 406, 131 (1996).
16. J. E. A. M. van den Meerakker, Electrochim. Acta, 35, 1267 (1990).
17. R. L. Smith, B. Kloeck, N. De Rooij, and S. D. Collins, J. Electroanal. Chem., 238, 103 (1987).
18. O. J. Glembocki, R. E. Stahlbush, and M. Tomkiewicz, J. Electrochem. Soc., 132, 145 (1985).
19. P. M. M. C. Bressers, M. Plakman, and J. J. Kelly, J. Electroanal. Chem., 406, 131 (1996).
20. D. M. Knotter, S. De Gendt, M. Baeyens, P. W. Mertens, and M. M. Heyns, J. Electrochem. Soc., 146, 3476 (1999).
21. J. E. A. M. van den Meerakker and M. H. M. Van der Straaten, J. Electrochem. Soc., 137, 1239 (1990).
22. S. D. Collins, J. Electrochem. Soc., 144, 2243 (1997).