Steady-state surface stress induced in noble gas sputtering

Thin Solid Films

Volumn 428, Issue 1-2, 2003, Pages 6-10

  Dahmen, K ^a   Giesen, M ^a   Ikonomov, J ^a   Starbova, K ^a   Ibach, H ^a  

^a FORSCHUNGSZENTRUM JÜLICH   (Germany)

Author keywords

Atom solid interaction; Copper; Radiation damage; Single crystal surfaces; Sputtering; Surface stress

Indexed keywords

ARGON; COMPRESSIVE STRESS; HELIUM; ION IMPLANTATION; RADIATION DAMAGE; SCANNING TUNNELING MICROSCOPY; SPUTTERING; THIN FILMS;

GAS SPUTTERING;

SINGLE CRYSTALS;

EID: 0037457102     PISSN: 00406090     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1016/S0040-6090(02)01182-3     Document Type: Conference Paper

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