Ag(Ta, Nb)O3 thin-film low-loss variable interdigital capacitors

Applied Physics Letters

Volumn 79, Issue 14, 2001, Pages 2234-2236

  Koh, Jung Hyuk ^a   Grishin, Alex ^a  

^a ROYAL INSTITUTE OF TECHNOLOGY   (Sweden)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0035474449     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.1407305     Document Type: Article

References (10)

1. C. L. Chen, H. H. Feng, Z. Zhang, A. Brazdeikis, Z. J. Huang, W. K. Chu, C. W. Chu, F. A. Miranda, F. W. Van Keuls, R. R. Romanofsky, and Y. Liou, Appl. Phys. Lett. 75, 412 (1999).
2. J. Im, O. Auciello, P. K. Baumann, S. K. Streiffer, D. Y. Kaufman, and A. R. Krauss, Appl. Phys. Lett. 76, 625 (2000).
3. B. H. Park, Y. Gim, Y. Fan, Q. X. Jia, and P. Lu, Appl. Phys. Lett. 77, 2587 (2000).
4. H.-C. Li, W. Si, A. D. West, and X. X. Xi, Appl. Phys. Lett. 73, 190 (1998).
5. X. Wang, U. Helmersson, L. D. Madson, I. P. Ivanov, P. Munger, S. Ruder, B. Hjorvarsson, and J.-E. Sundgren, J. Vac. Sci. Technol. A 17, 564 (1999).
6. A. A. Volkov, B. P. Gorshunov, G. Komandin, W. Fortin, G. E. Kugel, A. Kania, and J. Grigas, J. Phys.: Condens. Matter 7, 785 (1995).
7. J.-H. Koh, S. I. Khartsev, and A. Grishin, Appl. Phys. Lett. 77, 4416 (2000).
8. C. Cho and A. Grishin, Appl. Phys. Lett. 75, 268 (1999); J. Appl. Phys. 87, 4439 (2000).
9. C. Cho and A. Grishin, Appl. Phys. Lett. 75, 268 (1999); J. Appl. Phys. 87, 4439 (2000).
10. J. D. Baniecki, R. B. Laibowitz, T. M. Shaw, P. R. Duncombe, D. A. Neumayer, D. E. Kotecki, H. Shen, and Q. Y. Ma, Appl. Phys. Lett. 72, 498 (1998).