Mound surface roughness effects on the thermal capacitance of thin films

Journal of Applied Physics

Volumn 89, Issue 11 I, 2001, Pages 6130-6134

  Palasantzas, G ^a   De Hosson, J Th M ^a  

^a UNIVERSITY OF GRONINGEN   (Netherlands)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0035356097     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.1368390     Document Type: Article

References (28)

1. S. M. Sze, Semiconductor Devices: Physics and Technology (Wiley, New York, 1985).
2. K. A. McKinley and N. P. Sandler, Thin Solid Films 290, 440 (1996).
3. J. H. Oh, Y. H. Lee, B. K. Ju, D. K. Shin, C. Y. Park, and M. H. Oh, J. Appl. Phys. 82, 6203 (1997).
4. Z. P. Zhao, G.-C. Wang, T.-M. Lu, G. Palasantzas, and J. Th. M. De Hosson, Phys. Rev. B 60, 9127 (1999).
5. T. S. Rahman and A. A. Maradudin, Phys. Rev. B 21, 504 (1980); G. Palasantzas, J. Appl. Phys. 82, 351 (1997); F. J. Ohkawa and Y. Uemura, Prog. Theor. Phys. 57, 164 (1975); T. Ando, J. Phys. Soc. Jpn. 39, 411 (1975).
6. T. S. Rahman and A. A. Maradudin, Phys. Rev. B 21, 504 (1980); G. Palasantzas, J. Appl. Phys. 82, 351 (1997); F. J. Ohkawa and Y. Uemura, Prog. Theor. Phys. 57, 164 (1975); T. Ando, J. Phys. Soc. Jpn. 39, 411 (1975).
7. T. S. Rahman and A. A. Maradudin, Phys. Rev. B 21, 504 (1980); G. Palasantzas, J. Appl. Phys. 82, 351 (1997); F. J. Ohkawa and Y. Uemura, Prog. Theor. Phys. 57, 164 (1975); T. Ando, J. Phys. Soc. Jpn. 39, 411 (1975).
8. T. S. Rahman and A. A. Maradudin, Phys. Rev. B 21, 504 (1980); G. Palasantzas, J. Appl. Phys. 82, 351 (1997); F. J. Ohkawa and Y. Uemura, Prog. Theor. Phys. 57, 164 (1975); T. Ando, J. Phys. Soc. Jpn. 39, 411 (1975).
9. T. Ando, A. B. Fowler, and F. Stern, Rev. Mod. Phys. 54, 437 (1982); A. Hartstein, T. H. Ning, and A. B. Fowler, Surf. Sci. 58, 178 (1976); T. Ando, J. Phys. Soc. Jpn. 51, 3900 (1982); G. Fishman and D. Calecki, Phys. Rev. Lett. 62, 1302 (1989); G. Fishman and D. Calecki, Phys. Rev. B 43, 11581 (1991); H. Sakaki, T. Noda, K. Hirakawa, M. Tanaka, and T. Matsusue, Appl. Phys. Lett. 51, 1934 (1987); G. Palasantzas and J. Barnas, Phys. Rev. B 56, 7726 (1997); G. Palasantzas and J. Barnas, Phys. Status Solidi B 209, 319 (1998); J. Barnas and G. Palasantzas. J. Appl. Phys. 82, 3950 (1997).
10. T. Ando, A. B. Fowler, and F. Stern, Rev. Mod. Phys. 54, 437 (1982); A. Hartstein, T. H. Ning, and A. B. Fowler, Surf. Sci. 58, 178 (1976); T. Ando, J. Phys. Soc. Jpn. 51, 3900 (1982); G. Fishman and D. Calecki, Phys. Rev. Lett. 62, 1302 (1989); G. Fishman and D. Calecki, Phys. Rev. B 43, 11581 (1991); H. Sakaki, T. Noda, K. Hirakawa, M. Tanaka, and T. Matsusue, Appl. Phys. Lett. 51, 1934 (1987); G. Palasantzas and J. Barnas, Phys. Rev. B 56, 7726 (1997); G. Palasantzas and J. Barnas, Phys. Status Solidi B 209, 319 (1998); J. Barnas and G. Palasantzas. J. Appl. Phys. 82, 3950 (1997).
11. T. Ando, A. B. Fowler, and F. Stern, Rev. Mod. Phys. 54, 437 (1982); A. Hartstein, T. H. Ning, and A. B. Fowler, Surf. Sci. 58, 178 (1976); T. Ando, J. Phys. Soc. Jpn. 51, 3900 (1982); G. Fishman and D. Calecki, Phys. Rev. Lett. 62, 1302 (1989); G. Fishman and D. Calecki, Phys. Rev. B 43, 11581 (1991); H. Sakaki, T. Noda, K. Hirakawa, M. Tanaka, and T. Matsusue, Appl. Phys. Lett. 51, 1934 (1987); G. Palasantzas and J. Barnas, Phys. Rev. B 56, 7726 (1997); G. Palasantzas and J. Barnas, Phys. Status Solidi B 209, 319 (1998); J. Barnas and G. Palasantzas. J. Appl. Phys. 82, 3950 (1997).
12. T. Ando, A. B. Fowler, and F. Stern, Rev. Mod. Phys. 54, 437 (1982); A. Hartstein, T. H. Ning, and A. B. Fowler, Surf. Sci. 58, 178 (1976); T. Ando, J. Phys. Soc. Jpn. 51, 3900 (1982); G. Fishman and D. Calecki, Phys. Rev. Lett. 62, 1302 (1989); G. Fishman and D. Calecki, Phys. Rev. B 43, 11581 (1991); H. Sakaki, T. Noda, K. Hirakawa, M. Tanaka, and T. Matsusue, Appl. Phys. Lett. 51, 1934 (1987); G. Palasantzas and J. Barnas, Phys. Rev. B 56, 7726 (1997); G. Palasantzas and J. Barnas, Phys. Status Solidi B 209, 319 (1998); J. Barnas and G. Palasantzas. J. Appl. Phys. 82, 3950 (1997).
13. T. Ando, A. B. Fowler, and F. Stern, Rev. Mod. Phys. 54, 437 (1982); A. Hartstein, T. H. Ning, and A. B. Fowler, Surf. Sci. 58, 178 (1976); T. Ando, J. Phys. Soc. Jpn. 51, 3900 (1982); G. Fishman and D. Calecki, Phys. Rev. Lett. 62, 1302 (1989); G. Fishman and D. Calecki, Phys. Rev. B 43, 11581 (1991); H. Sakaki, T. Noda, K. Hirakawa, M. Tanaka, and T. Matsusue, Appl. Phys. Lett. 51, 1934 (1987); G. Palasantzas and J. Barnas, Phys. Rev. B 56, 7726 (1997); G. Palasantzas and J. Barnas, Phys. Status Solidi B 209, 319 (1998); J. Barnas and G. Palasantzas. J. Appl. Phys. 82, 3950 (1997).
14. T. Ando, A. B. Fowler, and F. Stern, Rev. Mod. Phys. 54, 437 (1982); A. Hartstein, T. H. Ning, and A. B. Fowler, Surf. Sci. 58, 178 (1976); T. Ando, J. Phys. Soc. Jpn. 51, 3900 (1982); G. Fishman and D. Calecki, Phys. Rev. Lett. 62, 1302 (1989); G. Fishman and D. Calecki, Phys. Rev. B 43, 11581 (1991); H. Sakaki, T. Noda, K. Hirakawa, M. Tanaka, and T. Matsusue, Appl. Phys. Lett. 51, 1934 (1987); G. Palasantzas and J. Barnas, Phys. Rev. B 56, 7726 (1997); G. Palasantzas and J. Barnas, Phys. Status Solidi B 209, 319 (1998); J. Barnas and G. Palasantzas. J. Appl. Phys. 82, 3950 (1997).
15. T. Ando, A. B. Fowler, and F. Stern, Rev. Mod. Phys. 54, 437 (1982); A. Hartstein, T. H. Ning, and A. B. Fowler, Surf. Sci. 58, 178 (1976); T. Ando, J. Phys. Soc. Jpn. 51, 3900 (1982); G. Fishman and D. Calecki, Phys. Rev. Lett. 62, 1302 (1989); G. Fishman and D. Calecki, Phys. Rev. B 43, 11581 (1991); H. Sakaki, T. Noda, K. Hirakawa, M. Tanaka, and T. Matsusue, Appl. Phys. Lett. 51, 1934 (1987); G. Palasantzas and J. Barnas, Phys. Rev. B 56, 7726 (1997); G. Palasantzas and J. Barnas, Phys. Status Solidi B 209, 319 (1998); J. Barnas and G. Palasantzas. J. Appl. Phys. 82, 3950 (1997).
16. T. Ando, A. B. Fowler, and F. Stern, Rev. Mod. Phys. 54, 437 (1982); A. Hartstein, T. H. Ning, and A. B. Fowler, Surf. Sci. 58, 178 (1976); T. Ando, J. Phys. Soc. Jpn. 51, 3900 (1982); G. Fishman and D. Calecki, Phys. Rev. Lett. 62, 1302 (1989); G. Fishman and D. Calecki, Phys. Rev. B 43, 11581 (1991); H. Sakaki, T. Noda, K. Hirakawa, M. Tanaka, and T. Matsusue, Appl. Phys. Lett. 51, 1934 (1987); G. Palasantzas and J. Barnas, Phys. Rev. B 56, 7726 (1997); G. Palasantzas and J. Barnas, Phys. Status Solidi B 209, 319 (1998); J. Barnas and G. Palasantzas. J. Appl. Phys. 82, 3950 (1997).
17. T. Ando, A. B. Fowler, and F. Stern, Rev. Mod. Phys. 54, 437 (1982); A. Hartstein, T. H. Ning, and A. B. Fowler, Surf. Sci. 58, 178 (1976); T. Ando, J. Phys. Soc. Jpn. 51, 3900 (1982); G. Fishman and D. Calecki, Phys. Rev. Lett. 62, 1302 (1989); G. Fishman and D. Calecki, Phys. Rev. B 43, 11581 (1991); H. Sakaki, T. Noda, K. Hirakawa, M. Tanaka, and T. Matsusue, Appl. Phys. Lett. 51, 1934 (1987); G. Palasantzas and J. Barnas, Phys. Rev. B 56, 7726 (1997); G. Palasantzas and J. Barnas, Phys. Status Solidi B 209, 319 (1998); J. Barnas and G. Palasantzas. J. Appl. Phys. 82, 3950 (1997).
18. G. Chen and P. Hui, Appl. Phys. Lett. 74, 2942 (1999).
19. J. C. Lambropoulos, S. D. Jacobs, S. J. Burns, L. Shaw-Klein, and S.-S. Hwang, Thin Film Heat Transfer: Properties and Processing (ASME, New York, 1991), Vol. 184, p. 21.
20. T. Yamane, Y. Moi, S. Katayama, and M. Todoki, J. Appl. Phys. 82, 1153 (1997).
21. T. Startz, U. Schmidt, and F. Volklein, Science Technol. (USA) 7, 395 (1995).
22. Z. L. Wu, P. K. Kuo, L. Wei, S. L. Gu, and R. L. Thomas, Thin Solid Films 236, 191 (1993).
23. T. Q. Qui and C. L. Tien, Trans. ASME 115, 842 (1993).
24. M. D. Johnson, C. Orme, A. W. Hunt, D. Graff, J. Sudijono, L. M. Sander, and B. G. Orr, Phys. Rev. Lett. 72, 116 (1994); M. Siegert and M. Plischke, ibid. 73, 1517 (1994); J.-K. Zuo and J. F. Wendelken, ibid. 78, 2791 (1997); J. A. Stroscio, D. T. Pierce, M. D. Stiles, A. Zangwill, and L. M. Sander, ibid. 75, 4246 (1995).
25. M. D. Johnson, C. Orme, A. W. Hunt, D. Graff, J. Sudijono, L. M. Sander, and B. G. Orr, Phys. Rev. Lett. 72, 116 (1994); M. Siegert and M. Plischke, ibid. 73, 1517 (1994); J.-K. Zuo and J. F. Wendelken, ibid. 78, 2791 (1997); J. A. Stroscio, D. T. Pierce, M. D. Stiles, A. Zangwill, and L. M. Sander, ibid. 75, 4246 (1995).
26. M. D. Johnson, C. Orme, A. W. Hunt, D. Graff, J. Sudijono, L. M. Sander, and B. G. Orr, Phys. Rev. Lett. 72, 116 (1994); M. Siegert and M. Plischke, ibid. 73, 1517 (1994); J.-K. Zuo and J. F. Wendelken, ibid. 78, 2791 (1997); J. A. Stroscio, D. T. Pierce, M. D. Stiles, A. Zangwill, and L. M. Sander, ibid. 75, 4246 (1995).
27. M. D. Johnson, C. Orme, A. W. Hunt, D. Graff, J. Sudijono, L. M. Sander, and B. G. Orr, Phys. Rev. Lett. 72, 116 (1994); M. Siegert and M. Plischke, ibid. 73, 1517 (1994); J.-K. Zuo and J. F. Wendelken, ibid. 78, 2791 (1997); J. A. Stroscio, D. T. Pierce, M. D. Stiles, A. Zangwill, and L. M. Sander, ibid. 75, 4246 (1995).
28. Y.-P. Zhao, H.-Y. Yang, G. C. Wang, and T.-M. Lu, Phys. Rev. B 57, 1922 (1998).