Effects of thermal annealing on the microstructure and mechanical properties of carbon-nitrogen films deposited by radio frequency-magnetron sputtering

Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films

Volumn 17, Issue 5, 1999, Pages 2811-2818

  Lacerda, M M ^a   Freire Jr , F L ^a   Prioli, R ^a,b   Lepinski, C M ^c   Mariotto, G ^d  

^a PONTIFICAL CATHOLIC UNIVERSITY OF RIO DE JANEIRO   (Brazil)

^b CENTRO BRASILEIRO DE PESQUISAS FÍSICAS   (Brazil)

^c FEDERAL UNIVERSITY OF PARANÁ   (Brazil)

^d UNIVERSITY OF TRENTO   (Italy)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0033446010     PISSN: 07342101     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1116/1.582021     Document Type: Article

References (49)

1. A. Y. Liu and M. L. Cohen, Phys. Rev. B 41, 10727 (1990).
2. M. R. Wixon, J. Am. Ceram. Soc. 73, 1973 (1990).
3. J. H. Nguyen and R. Jeanloz, Mater. Sci. Eng., A 209, 23 (1996).
4. C. J. Torng, J. M. Sivertsen, J. H. Judy, and C. Chang, J. Mater. Res. 5, 2490 (1990).
5. M. Y. Chen, X. Lin, V. P. Dravid, Y. W. Chung, M. S. Wong, and W. D. Sproul, Surf. Coat. Technol. 54-55, 360 (1992).
6. C. Niu, Y. Z. Lu, and C. M. Lieber, Science 261, 334 (1993).
7. N. Nakayama, Y. Tsuchiya, S. Tamada, K. Kosuge, S. Nagata, K. Takahiro, and S. Yamaguchi, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 32, L1465 (1993).
8. K. M. Yu, M. L. Cohen, E. E. Haller, W. L. Hansen, A. Y. Liu, and I. C. Wu, Phys. Rev. B 49, 5034 (1994).
9. F. Rossi, B. André, A. van Veen, P. E. Mijnarends, H. Schut, F. Labohm, H. Dunlop, M. P. Delplancke, and K. Hubbard, J. Mater. Res. 9, 2440 (1994).
10. D. Marton, K. J. Boyd, A. H. Al-Bayati, S. S. Todorov, and J. W. Rabalais, Phys. Rev. Lett. 73, 118 (1994).
11. D. Li, S. Lopez, Y. W. Chung, M. S. Wong, and W. D. Sproul, J. Vac. Sci. Technol. A 13, 1063 (1995).
12. H. Sjöström, S. Stafström, M. Boman, and J. E. Sundgren, Phys. Rev. Lett. 75, 1336 (1995).
13. F. L. Freire, Jr., G. Mariotto, C. A. Achete, and D. F. Franceschini, Surf. Coat. Technol. 74-75, 382 (1995).
14. K. J. Boyd, D. Marton, S. S. Todorov, A. H. Al-Bayati, J. Hulik, R. A. Zuhr, and J. W. Rabalais, J. Vac. Sci. Technol. A 13, 2110 (1995).
15. A. R. Merchant, D. G. McCulloch, D. R. McKenzie, Y. Lin, L. Hall, and E. G. Gerstner, J. Appl. Phys. 79, 6914 (1996).
16. M. M. Lacerda, D. F. Franceschini, F. L. Freire, Jr., C. A. Achete, and G. Mariotto, J. Vac. Sci. Technol. A 11, 521 (1997).
17. Y. F. Lu, Z. M. Ren, W. D. Song, D. S. H. Chan, T. S. Low, K. Gamani, G. Chen, and K. Li, J. Appl. Phys. 84, 2909 (1998).
18. F. Wech, J. Widany, and Th. Frauenheim, Phys. Rev. Lett. 78, 3326 (1997).
19. V. S. Veerasamy, J. Yuan, G. A. J. Amaratunga, W. I. Milne, K. W. R. Gilkes, M. Weiler, and L. M. Brown, Phys. Rev. B 48, 17954 (1993).
20. D. F. Franceschini, F. L. Freire, Jr., and S. R. P. Silva, Appl. Phys. Lett. 68, 2645 (1996).
21. J. K. Walters, M. Kühn, C. Spaeth, H. Fischer, F. Richter, and R. J. Newport, Phys. Rev. B 56, 14315 (1997).
22. J. K. Walters, M. Kühn, C. Spaeth, H. Fischer, E. Dooryhee. and R. J. Newport, J. Appl. Phys. 83, 3529 (1998).
23. D. Li, X. Chu, S. C. Cheng, X. W. Lin, V. P. Dravid, Y. W. Chung, M. S. Wong, and W. D. Sproul, Appl. Phys. Lett. 67, 203 (1995).
24. D. Li, X. W. Lin, S. C. Cheng, V. P. Dravid, Y. W. Chung, M. S. Wong, and W. D. Sproul, Appl. Phys. Lett. 68, 1211 (1996).
25. D. M. Teter and R. J. Hemley, Science 271, 53 (1996).
26. D. Li, Y. W. Chung, M. S. Wong, and W. D. Sproul, J. Appl. Phys. 74, 219 (1993).
27. W. C. Chan, B. Zhou, Y. W. Chung, C. S. Lee, and S. T. Lee, J. Vac. Sci. Technol. A 16, 1907 (1998).
28. B. Wei, B. Zhang, and K. E. Johnson, J. Appl. Phys. 83, 2491 (1998).
29. T. A. Yeh, C. L. Lin, J. M. Sivertsen, and J. H. Judy, J. Magn. Magn. Mater. 120, 314 (1993).
30. A. Khrshudov, K. Kato, and S. Daisuke, J. Vac. Sci. Technol. A 14, 2935 (1996).
31. J. J. Cuomo, P. A. Leary, D. Yu, W. Reuter, and M. Frisch, J. Vac. Sci. Technol. 16, 299 (1979).
32. M. Y. Chen, X. Lin, V. P. Dravid, Y. W. Chung, and W. D. Sproul, J. Vac. Sci. Technol. A 11, 521 (1993).
33. K. G. Kreider, M. J. Tarlov, G. J. Gillen, G. E. Poirier, L. H. Robins, L. K. Ives, W. D. Bowers, R. B. Marinenko, and D. T. Smith, J. Mater. Res. 10, 3079 (1995).
34. S. Lopez, M. S. Wong, and W. D. Sproul, J. Vac. Sci. Technol. A 13, 1644 (1995).
35. J. D. Kiely and D. A. Bonnel. J. Vac. Sci. Technol. B 15, 1483 (1997).
36. G. Stoney, Proc. R. Soc. London, Ser. A 82, 172 (1908).
37. J. W. Zou, K. Schmidt, K. Reichel, and B. Strizer, J. Vac. Sci. Technol. A 6, 3103 (1988).
38. W. C. Oliver and G. M. Pharr, J. Mater. Res. 10, 1564 (1992).
39. L. R. Doolitle, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 9, 2801 (1985).
40. J. H. Kaufman, S. Metin, and D. D. Saperstein, Phys. Rev. B 39, 13053 (1989).
41. J. E. Greene, S. A. Barnett, J.-E. Sundgren, and A. Rocket, in Ion Beam Assisted Film Growth, edited by A. Itoh (Elsevier, Amsterdam, 1989), Chap. 5.
42. F. A. Alvarez, N. M. Vitoria, P. Hammer, F. L. Freire, Jr., and M. C. dos Santos, Appl. Phys. Lett. 73, 1065 (1998).
43. R. J. Nemanich and S. A. Solin, Phys. Rev. B 20, 392 (1979).
44. R. O. Dillon, J. A. Woollam, and V. Katkanant, Phys. Rev. B 29, 3482 (1984).
45. F. L. Freire Jr., C. A. Achete, G. Mariotto, and R. Canteri, J. Vac. Sci. Technol. A 17, 3048 (1994).
46. J. Robertson, Phys. Rev. B 53, 16302 (1996).
47. F. Parmigiani, E. Kaym, and H. Seki, J. Appl. Phys, 64, 3031 (1988).
48. R. Al-Jishi and G. Dresselhaus, Phys. Rev. B 26, 4514 (1982).
49. R. Prioli, S. I. Zanete, R. O. Caride, D. F. Franceschini, and F. L. Freire, Jr., J. Vac. Sci. Technol. A 17, 2351 (1996).