Structural stability for UV irradiation and dielectric properties of a-CNx films

Journal of Non-Crystalline Solids

Volumn 266-269 B, Issue , 2000, Pages 825-829

  Itoh, T ^a   Aono, M ^a   Yoshida, S ^a   Hattori, S ^a   Katsuno, T ^a   Nitta, S ^a   Nonomura, S ^a  

^a GIFU UNIVERSITY   (Japan)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0006113778     PISSN: 00223093     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1016/s0022-3093(99)00953-9     Document Type: Article

References (15)

1. M. Aono, S. Nitta, T. Iwasaki, H. Yokoi, T. Itoh, S. Nonomura, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 565 (1999) 291.
2. M. Iguchi, Y. Matsubara, S. Ito, K. Endo, K. Koyanagi, K. Kishimoto, H. Gomi, T. Tatsumi, T. Horiuchi, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 511 (1998) 341.
3. S. Nitta, N. Takada, K. Sugiyama, T. Itoh, S. Nonomura, J. Non-Cryst. Solids 227-230 (1998) 655.
4. N. Takada, K. Arai, S. Nitta, S. Nonomura, Appl. Surf. Sci. 113&114 (1997) 274.
5. T. Iwasaki, M. Aono, S. Nitta, T. Itoh, S. Nonomura, Diamond Related Mater. 8 (1999) 440.
6. S. Yoshida, T. Itoh, N. Takada, S. Nitta, S. Nonomura, J. Non-Cryst. Solids 227-230 (1998) 650.
7. S. Iida, Japan J. Appl. Phys. 21 (1982) L62.
8. K. Sugiyama, S. Nitta, N. Takada, T. Iwasaki, T. Itoh, S. Nonomura, in: Proceedings of the Second International Conference on Nitride Semiconductors, Tokushima, 1977, p. 180.
9. H.C. Tsai, D.B. Bogy, J. Vac. Sci. Technol. A 5 (1987) 3287.
10. R.J. Nemanich, S.A. Solin, Phys. Rev. B 20 (1979) 392.
11. D. Beeman, J. Silverman, R. Lynds, M.R. Anderson, Phys. Rev. B 30 (1984) 870.
12. M. Ramsteiner, J. Wagner, Appl. Phys. Lett. 51 (1987) 1355.
13. J. Robertson, Phys. Rev. B 53 (1996) 16302.
14. K.W.R. Gilkes, H.S. Sands, D.N. Batchelder, J. Robertson, W.I. Milne, Appl. Phys. Lett. 70 (1997) 1980.
15. A.C. Ferrari, B. Kleinsorge, G. Adamopoulos, J. Robertson, W.I. Milne, V. Stojolan, L.M. Brown, A. LiBassi, B.K. Tanner, these Proceedings, p. 319.