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Volumn 88, Issue 2, 2000, Pages 1181-1183

The finite size effect in a planar inductively coupled plasma

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EID: 0005542274     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.373794     Document Type: Article
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References (23)


* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.