Positive charging of thermal SiO2/(100)Si interface by hydrogen annealing

Applied Physics Letters

Volumn 72, Issue 1, 1998, Pages 79-81

  Afanas'ev, V V ^a   Stesmans, A ^a  

^a UNIVERSITY OF LEUVEN   (Belgium)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0001818038     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.120650     Document Type: Article

References (19)

1. See, e.g., Y. C. Cheng, Prog. Surf. Sci. 8, 181 (1977), and references therein.
2. B. E. Deal, J. Electrochem. Soc. 121, 198C (1974).
3. S. C. Vitkavage, E. A. Irene, and H. Z. Massoud, J. Appl. Phys. 68, 5262 (1990).
4. K. Vanheusden and A. Stesmans, Appl. Phys. Lett. 64, 2575 (1994).
5. Z. Jing, G. Lucovsky, and J. L. Whitten, J. Vac. Sci. Technol. B 13, 1613 (1995).
6. W. L. Warren, K. Vanheusden, J. R. Schwank, D. M. Fleetwood, P. S. Winokur, and R. A. B. Devine, Appl. Phys. Lett. 68, 2993 (1996).
7. W. L. Warren, K. Vanheusden, D. M. Fleetwood, J. R. Schwank, M. R. Shaneyfelt, P. S. Winokur, and R. A. B. Devine, IEEE Trans. Nucl. Sci. 43, 2617 (1996).
8. A. H. Edwards, Phys. Rev. B 44, 1832 (1991).
9. K. Vanheusden, W. L. Warren, J. R. Schwank, D. M. Fleetwood, M. R. Shaneyfelt, P. S. Winokur, and R. A. B. Devine, Appl. Phys. Lett. 68, 2117 (1996).
10. P. V. Gray and D. M. Brown, Appl. Phys. Lett. 8, 31 (1966).
11. S. T. Chang and S. A. Lyon, Appl. Phys. Lett. 48, 136 (1986).
12. A. Stesmans and V. V. Afanas'ev, Phys. Rev. B 54, R11129 (1996).
13. M. E. Zvanut, R. E. Stahlbush, and W. E. Carlos, Appl. Phys. Lett. 60, 2989 (1992).
14. K. L. Brower, Phys. Rev. B 42, 3444 (1990).
15. K. Vanheusden, A. Stesmans, and V. V. Afanas'ev, J. Appl. Phys. 77, 2419 (1995).
16. J. M. M. de Nijs, K. G. Druijf, V. V. Afanas'ev, E. van der Drift, and P. Balk, Appl. Phys. Lett. 65, 2428 (1994).
17. V. V. Afanas'ev, J. M. M. de Nijs, and P. Balk, Appl. Phys. Lett. 66, 1738 (1995).
18. A. Yokozawa and Y. Miyamoto, Phys. Rev. B 55, 13783 (1997).
19. S. Tsuneyuki, H. Aoki, M. Tsukada, and Y. Matsui, Phys. Rev. Lett. 64, 776 (1990).