Nature and origins of stacking faults from a ZnSe/GaAs interface

Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures

Volumn 15, Issue 4, 1997, Pages 1241-1253

  Kuo, L H ^a   Kimura, K ^a   Ohtake, A ^a   Miwa, S ^a   Yasuda, T ^b   Yao, T ^b,c  

^a JT RES CENTER FOR ATOM TECHNOLOGY   (Japan)

^b NATL INST FOR ADV INTERDISC RES   (Japan)

^c TOHOKU UNIVERSITY   (Japan)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0001389212     PISSN: 10711023     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1116/1.589445     Document Type: Article

References (33)

1. P. M. Petroff and R. L. Hartman, Appl. Phys. Lett. 23, 469 (1973).
2. S. Mahajan, W. D. Johnston, Jr., M. A. Pollack, and R. E. Nahory, Appl. Phys. Lett. 34, 717 (1979).
3. S. Guha, J. M. DePuydt, M. A. Haase, J. Qiu, and H. Cheng, Appl. Phys. Lett. 63, 3107 (1993).
4. J. M. DePuydt, M. A. Haase, S. Guha, J. Qiu, H. Cheng, B. J. Wu, G. E. Hofler, G. Meis-Haugen, M. S. Hagedorn, and P. F. Baude, J. Cryst. Growth 138, 667 (1994).
5. G. C. Hua, N. Otsuka, D. C. Grillo, Y. Fan, J. Han, M. D. Ringle, R. L. Gunshor, M. Hovinen, and A. V. Nurmikko, Appl. Phys. Lett. 65, 1331 (1994).
6. G. M. Haugen, S. Guha, H. Cheng, J. M. DePuydt, M. A. Haase, G. E. Hofler, J. Qiu, and B. J. Wu, Appl. Phys. Lett. 66, 358 (1995).
7. S. Tomiya, E. Morita, M. Ukita, H. Okuyama, S. Itoh, K. Nakano, and A. Ishibashi, Appl. Phys. Lett. 66, 1208 (1995).
8. L. H. Kuo, L. Salamanca-Riba, B. J. Wu, G. M. Haugen, J. M. DePuydt, G. Hofler, and H. Cheng, J. Vac. Sci. Technol. B 13, 1694 (1995).
9. D. J. Eaglesham, D. P. Kvam, D. M. Bean, J. C. Bean, and C. J. Humphreys, Philos. Mag. 59, 1059 (1989).
10. L. H. Kuo, L. Salamanca-Riba, J. M. DePuydt, H. Cheng, and J. Qiu, Philos. Mag. 69, 301 (1994).
11. L. H. Kuo, L. Salamanca-Riba, G. Hofler, and B. J. Wu, Philos. Mag. A 71, 883 (1995).
12. D. Cherns, S. Mylonas, D. E. Ashenford, and B. Lunn, Philos. Mag. A 74, 553 (1996).
13. E. A. Fitzgerald, G. P. Watson, R. E. Proano, D. G. Ast, P. D. Kirchner, G. D. Pettit, and J. M. Wooddall, J. Appl. Phys. 65, 2220 (1989).
14. L. H. Kuo, L. Salamanca-Riba, J. M. DePuydt, H. Cheng, and J. Qiu, Appl. Phys. Lett. 63, 3197 (1993).
15. L. H. Kuo, L. Salamanca-Riba, J. M. DePuydt, H. Cheng, and J. Qiu, J. Electron. Mater. 23, 275 (1994).
16. L. H. Kuo, L. Salamanca-Riba, B. J. Wu, G. Hofler, J. M. DePuydt. and H. Cheng, Appl. Phys. Lett. 67, 3298 (1995).
17. L. H. Kuo, K. Kimura, T. Yasuda, S. Miwa, C. G. Jin, K. Tanaka, and T. Yao, Appl. Phys. Lett. 68, 2413 (1996).
18. B. J. Wu, G. M. Haugen, J. M. DePuydt, L. H. Kuo , and L. Salamanca-Riba, Appl. Phys. Lett. 68, 2828 (1996).
19. L. H. Kuo, K. Kimura, S. Miwa, T. Yasuda, and T. Yao, J. Electron. Mater. 26, 52 (1997).
20. Edith D. Bourret-Courchesne, Appl. Phys. Lett. 68, 1675 (1996).
21. L. H. Kuo, K. Kimura, S. Miwa, T. Yasuda, and T. Yao, Appl. Phys. Lett. 69, 1408 (1996).
22. J. P. Hirth and J. Lothe, Theory of Dislocations, 2nd ed. (Wiley, New York, 1982), pp. 373-381.
23. P. Haasen, Acta. Metall. 5, 598 (1957).
24. T. Yasuda, L. H. Kuo, K. Kimura, S. Miwa, C. Jin, K. Tanaka, and T. Yao, J. Vac. Sci. Technol. B 14, 3052 (1996).
25. D. K. Biegelsen, R. D. Bringans, J. E. Northrup, and L. E. Swartz, Phys. Rev. 41, 5701 (1990).
26. A. Ohtake, L. H. Kuo, T. Yasuda, K. Kimura, S. Miwa, and T. Yao, J. Vac. Sci. Technol. (submitted).
27. D. Li, J. M. Gonsalves, N. Otsuka, J. Qiu, M. Kobayashi, and R. L. Gunshor, Appl. Phys. Lett. 57, 449 (1990).
28. International Tables for X-ray Crystallography (Kynoch Press, Birmingham, England, 1962), Vol. III, p. 210.
29. S. Heun, J. J. Paggel, S. Rubini, and A. Franciosi, J. Vac. Sci. Technol. B 14, 2980 (1996).
30. S. P. Hirsch, A. Howie, R. B. Nicholson, D. W. Pashley, and M. J. Whelan, Electron Microscopy of Thin Crystals (Krieger, New York, 1977), p. 327.
31. R. Hull, J. M. Gibson, and J. C. Bean, Appl. Phys. Lett. 46, 179 (1985).
32. M. S. Abrahams, J. Blanc, and C. J. Buiocchi, J. Appl. Phys. 45, 3277 (1974).
33. A. H. van Ommen, J. Appl. Phys. 54, 5055 (1983).