Activation and deactivation of implanted B in Si

Applied Physics Letters

Volumn 75, Issue 5, 1999, Pages 662-664

  Pelaz, Lourdes ^a,b   Venezia, V C ^a   Gossmann, H J ^a   Gilmer, G H ^a   Fiory, A T ^a   Rafferty, C S ^a   Jaraiz, M ^b   Barbolla, J ^b  

^a LUCENT TECHNOLOGIES   (United States)

^b UNIVERSITY OF VALLADOLID   (Spain)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0000979673     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.124474     Document Type: Article

References (13)

1. P. M. Fahey, P. B. Griffin, and J. D. Plummer, Rev. Mod. Phys. 61, 289 (1989).
2. P. A. Stolk, H.-J. Gossmann, D. J. Eaglesham, D. C. Jacobson, C. S. Rafferty, G. H. Gilmer, M. Jaraiz, J. M. Poate, H. S. Luftman, and T. E. Haynes, J. Appl. Phys. 81, 6031 (1997).
3. R. Angelucci, F. Cembali, P. Negrini, M. Servidori, and S. Solmi, J. Electrochem. Soc. 134, 3130 (1987).
4. N. E. B. Cowern, K. T. F. Janssen, and H. F. F. Jos, J. Appl. Phys. 68, 6191 (1990).
5. J. Zhu, T. D. de la Rubia, L. H. Yang, C. Mailhiot, and G. H. Gilmer, Phys. Rev. B 54, 4741 (1996).
6. T. E. Haynes, D. J. Eaglesham, P. A. Stolk, H.-J. Gossmann, D. C. Jacobson, and J. M. Poate, Appl. Phys. Lett. 69, 1376 (1996).
7. L. Pelaz, M. Jaraiz, G. H. Gilmer, H.-J. Gossmann, C. S. Rafferty, D. J. Eaglesham, and J. M. Poate, Appl. Phys. Lett. 70, 2285 (1997).
8. L. Pelaz, G. H. Gilmer, H.-J. Gossmann, C. S. Rafferty, M. Jaraiz, and J. Barbolla, Appl. Phys. Lett. 74, 3657 (1999).
9. M. J. Caturla, M. D. Johnson, and T. D. de la Rubia, Appl. Phys. Lett. 72, 2736 (1998).
10. G. H. Gilmer, T. D. de la Rubia, D. M. Stock, and M. Jaraiz, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 102, 247 (1995).
11. P. A. Stolk, J.-J. Gossmann, D. J. Eaglesham, D. C. Jacobson, C. S. Rafferty, G. H. Gilmer, M. Jaraiz, and J. M. Poate, J. Appl. Phys. 81, 6031 (1997).
12. T. E. Seidel and A. U. Mac Rae, Radiat. Eff. 7, 1 (1971).
13. J. Huang, D. Fan, and R. J. Jaccodine, J. Appl. Phys. 63, 5521 (1988).