Interactions of ion-implantation-induced interstitials with boron at high concentrations in silicon

Applied Physics Letters

Volumn 69, Issue 10, 1996, Pages 1376-1378

  Haynes, T E ^a   Eaglesham, D J ^b   Stolk, P A ^b,c   Gossmann, H J ^b   Jacobson, D C ^b   Poate, J M ^b  

^a OAK RIDGE NATIONAL LABORATORY   (United States)

^b LUCENT TECHNOLOGIES   (United States)

^c PHILIPS RESEARCH LABORATORIES   (Netherlands)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0001499236     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.117441     Document Type: Article

References (19)

1. W. K. Hofker, H. W. Werner, D. P. Oosthoek, and N. J. Koeman, Appl. Phys. 4, 125 (1974).
2. K. Cho, M. Numan, T. G. Finstad, W. K. Chu, J. Liu, and J. J. Wortman, Appl. Phys. Lett. 47, 1321 (1985).
3. S. Solmi, F. Baruffaldi, and R. Canteri, J. Appl. Phys. 69, 2135 (1990).
4. D. J. Eaglesham, P. A. Stolk, J.-J. Gossmann, and J. M. Poate, Appl. Phys. Lett. 65, 2305 (1994).
5. D. J. Eaglesham, P. A. Stolk, H.-J. Gossmann, T. E. Haynes, and J. M. Poate, Nucl. Instrum. Methods B 106, 191 (1995).
6. M. D. Giles, J. Electrochem. Soc. 138, 1160 (1991).
7. P. A. Stolk, H.-J. Gossmann, D. J. Eaglesham, D. C. Jacobson, C. S. Rafferty, G. H. Gilmer, M. Jaraíz, J. M. Poate, H. S. Luftman, and T. E. Haynes (unpublished).
8. N. E. B. Cowern, K. T. F. Janssen, and H. F. F. Jos, J. Appl. Phys. 68, 6191 (1990).
9. P. A. Stolk, H. J. Gossmann, D. J. Eaglesham, D. C. Jacobson, J. M. Poate, and H. S. Luftman, Appl. Phys. Lett. 66, 568 (1995).
10. O. W. Holland and J. Narayan, Appl. Phys. Lett. 54, 798 (1988).
11. A. E. Michel, Nucl. Instrum. Methods B 37/38, 379 (1989).
12. R. B. Fair, J. Electrochem. Soc. 137, 667 (1990).
13. M. R. Pinto, D. M. Boulin, C. S. Rafferty, R. K. Smith, W. M. Coughran, Jr., I. C. Kizilyalli, and M. J. Thoma, IEDM Tech. Digest, 923 (1992).
14. P. M. Fahey, P. B. Griffin, and J. D. Plummer, Rev. Mod. Phys. 61, 289 (1989).
15. C. S. Nichols, C. G. Van der Walle, and S. T. Pantelides, Phys. Rev. Lett. 62, 1049 (1989).
16. C. S. Nichols, C. G. Van der Walle, and S. T. Pantelides, Phys. Rev. B 40, 5484 (1989).
17. J. Zhu, T. Diaz de la Rubia, L. H. Yang, C. Mailhiot, and G. H. Gilmer (unpublished).
18. L. C. Kimerling, M. T. Asom, J. L. Benton, P. J. Drevinsky, and C. E. Caefer, Mater. Sci. Forum 38-41, 1215 (1993).
19. L. H. Zhang, K. S. Jones, P. H. Chi, and D. S. Simons, Appl. Phys. Lett. 67, 2025 (1995).