Hydrogen plasma enhanced crystallization of hydrogenated amorphous silicon films

Journal of Applied Physics

Volumn 85, Issue 3, 1999, Pages 1900-1906

  Pangal, K ^a   Sturm, J C ^a   Wagner, S ^a   Buyuklimanli T H ^b  

^a Princeton University   (United States)

^b Evans East   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0000592141     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.369182     Document Type: Article

References (25)

1. R. A. Ditizio, G. Liu, and S. J. Fonash, Appl. Phys. Lett. 56, 1140 (1990).
2. K. H. Milliadis, J. Appl. Phys. 63, 2260 (1988).
3. E. Korin, R. Reif, and B. Mikic, Thin Solid Films 167, 101 (1988).
4. R. J. Nemanich, C. C. Tsai, M. J. Thompson, and T. W. Sigmon, J. Vac. Sci. Technol. 19, 685 (1981).
5. D. K. Sadana, E. Myers, J. Liu, T. Finstad, and G. A. Rozgonyi, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 23, 303 (1984).
6. A. Yin, S. J. Fonash, D. M. Reber, Y. M. Li, and M. Bennett, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 345, 81 (1994).
7. K. Pangal, J. C. Sturm, and S. Wagner, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 507 (1998).
8. A. Yin and S. J. Fonash, Tech. Dig. IEEE Electron. Devices Mtg. 397 (1993).
9. R. B. Iverson and R. Reif, J. Appl. Phys. 62, 1675 (1987).
10. L. Csepregi, E. F. Kennedy, and J. W. Mayer, J. Appl. Phys. 49, 3906 (1978).
11. J. P. Conde, P. Brogueira, and V. Chu, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 452, 779 (1997).
12. C. C. Tsai and H. Fritzsche, Sol. Energy Mater. 1, 29 (1979).
13. G. Lucovsky, R. J. Nemanich, and J. C. Knights, Phys. Rev. B 19, 2064 (1979).
14. M. H. Brodsky, M. Cardona, and J. J. Cuomo, Phys. Rev. B 16, 3556 (1977).
15. C. V. Thompson and H. I. Smith, Appl. Phys. Lett. 44, 603 (1984).
16. G. Radnoczi, A. Robertsson, H. T. G. Hentzell, S. F. Gong, and M. A. Hasan, J. Appl. Phys. 69, 6394 (1991).
17. H. Shirai, D. Das, J. Hanna, and I. Shimizu, Appl. Phys. Lett. 59, 1096 (1991).
18. E. Srinivasan and G. N. Parsons, J. Appl. Phys. 81, 2847 (1997).
19. M. Otobe and S. Oda, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 31, 1948 (1992).
20. C. Godet, N. Layadi, and P. Roca i Cabarrocas, Appl. Phys. Lett. 66, 3146 (1995).
21. S. Ray, S. C. De, and A. K. Barua, Thin Solid Films 156, 277 (1988).
22. R. A. Street, Hydrogenated Amorphous Silicon (Cambridge University Press, London, 1991), p. 334.
23. P. Roca i Cabarrocas, S. Hamma, and A. Hadjadj, Appl. Phys. Lett. 69, 529 (1996).
24. E. F. Kennedy, L. Csepregi, J. W. Mayer, and T. W. Sigmon, J. Appl. Phys. 48, 4241 (1977).
25. M. K. Ryu, S. M. Hwang, T. H. Kim, and K. B. Kim, Appl. Phys. Lett. 71, 3063 (1997).