Reactivation of Mg acceptor in Mg-doped GaN by nitrogen plasma treatment

Applied Physics Letters

Volumn 76, Issue 21, 2000, Pages 3079-3081

  Kim, Sang Woo ^a   Lee, Ji Myon ^a   Huh, Chul ^a   Park, Nae Man ^a   Kim, Hyun Soo ^a   Lee, In Hwan ^a   Park, Seong Ju ^a  

^a Gwangju Institute of Science and Technology (GIST)   (South Korea)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0000568429     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.126585     Document Type: Article

References (21)

1. S. Nakamura, M. Senoh, N. Iwasa, and S. Nagahama, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 34, L797 (1995).
2. S. Nakamura, M. Senoh, N. Iwasa, T. Yamada, T. Matsushita, H. Kiyoku, and Y. Sugimoto, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 35, L217 (1996).
3. M. A. Khan, J. N. Kuznia, A. R. Bhattarai, and D. T. Olson, Appl. Phys. Lett. 62, 1786 (1993).
4. M. A. Khan, J. N. Kuznia, D. T. Olson, J. M. Van Hove, M. Blasingame, and L. F. Reitz, Appl. Phys. Lett. 60, 2917 (1993).
5. S. Nakamura, N. Iwasa, M. Senoh, and T. Mukai, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 31, 1258 (1992).
6. H. Amano, M. Kito, K. Hiramatsu, and I. Akasaki, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 28, L2112 (1989).
7. S. Nakamura, T. Mukai, M. Senoh, and N. Iwasa, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 31, L139 (1992).
8. J. Neugebauer and C. G. Van de Walle, Phys. Rev. B 50, 8067 (1994).
9. J. Neugebauer and C. G. Van de Walle, Appl. Phys. Lett. 68, 1829 (1996).
10. U. Kaufmann, M. Kunzer, M. Maier, H. Obloh, A. Ramakrishnan, B. Santic, and P. Schlotter, Appl. Phys. Lett. 72, 1326 (1998).
11. S. J. Pearton, C. B. Vartuli, J. C. Zolper, C. Yuan, and R. A. Stall, Appl. Phys. Lett. 67, 1435 (1995).
12. R. A. Logan and C. D. Yhurmond, J. Electrochem. Soc. 119, 1727 (1972).
13. J. I. Pankove, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 162, 515 (1990).
14. O. Ambacher, F. Freudenberg, R. Dimitrov, H. Angerer, and M. Stutzmann, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 37, 2416 (1998).
15. M. Smith, G. D. Chen, J. Y. Lin, H. X. Jiang, A. Salvador, B. N. Sverdlov, A. Botchkarev, H. Morkoç, and B. Goldenberg, Appl. Phys. Lett. 68, 1883 (1996).
16. B. Goldenherg, J. D. Zook, and R. J. Ulmer, Appl. Phys. Lett. 62, 381 (1993).
17. J. K. Sheu, Y. K. Su, G. C. Chi, B. J. Pong, C. Y. Chen, C. N. Huang, and W. C. Chen, J. Appl. Phys. 84, 4590 (1998).
18. S.-W. Kim, C. Huh, H.-M. Kim, J.-M. Lee, J.-S. Jang, and S.-J. Park (unpublished).
19. M. Suzuki, T. Kawakami, T. Arai, S. Kobayashi, Y. Koide, T. Uemura, N. Shibata, and M. Murakami, Appl. Phys. Lett. 74, 275 (1999).
20. J.-K. Ho, C.-S. Jong, C. C. Chiu, C.-N. Huang, C.-Y. Chen, and K.-K. Shih, Appl. Phys. Lett. 74, 1275 (1999).
21. J.-S. Jang, S.-J. Park, and T.-Y. Seong, J. Vac. Sci. Technol. B 17, 2667 (1999).