Success in measurement the lowest off-state current of transistor in the world

ECS Transactions

Volumn 37, Issue 1, 2011, Pages 77-88

  Sekine, Y ^a   Furutani, K ^a   Shionoiri, Y ^a   Kato, K ^a   Koyama, J ^a   Yamazaki, S ^a  

^a SEMICONDUCTOR ENERGY LABORATORY CO LTD   (Japan)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ENERGY GAP; GALLIUM COMPOUNDS; OXIDE SEMICONDUCTORS; SEMICONDUCTING INDIUM COMPOUNDS; SUBSTRATES; THIN FILM TRANSISTORS; THIN FILMS; ULSI CIRCUITS; WIDE BAND GAP SEMICONDUCTORS;

CHANNEL WIDTHS; GLASS SUBSTRATES; IN GA ZN OXIDES; OFF STATE; OFF-STATE CURRENT; WIDE BAND GAP;

THIN FILM CIRCUITS;

EID: 84856891628     PISSN: 19385862     EISSN: 19386737     Source Type: Conference Proceeding    
DOI: 10.1149/1.3600726     Document Type: Conference Paper

References (24)

1. N. Kimizuka and T. Mohri, J. Solid Stale Chem., 60, 382 (1985).
2. N. Kimizuka, M. Isobe, and M. Nakamura, J. Solid State Chem., 116, 170 (1995).
3. M. Nakamura and N. Kimizuka, T. Mohri, J. Solid State Chem., 93, 298 (1991).
4. N. Kimizuka and T. Mohri, Japanese Patents 1606567 (1991), 1639406 (1992), 1639407 (1992), 1606568 (1991), 1639398 (1992), and 1606571 (1991).
5. C. Li, Y. Bando, M. Nakamura, M. Onoda, and N. Kimizuka, J. Solid State Chem., 139, 347 (1998).
6. K. Nomura, H. Ohta, K. Ueda, T. Kamiya, M. Hirano, and H. Hosono, SCIENCE, 300, 1269 (2003).
7. K. Nomura, H. Ohta, A. Takagi, T. Kamiya, M. Hirano, and H. Hosono, Nature, 432, 488 (2004).
8. S. Maekawa and H. Kuwabara, Korean Patent, 1022352 (2011).
9. K. Akimoto, T. Honda, and N. Sone, Chinese Patent, 654582 (2010), 668939 (2010).
10. K. Akimoto, T. Honda, and N. Sone, US Patent, 7674650 (2010), 7732819 (2010), 7910490 (2011), 7932521 (2011).
11. K. Akimoto, Chinese Patent, 731689 (2011).
12. H. Suzawa, S. Sasagawa, and T. Muraoka, US Patent, 7915075 (2011).
13. T. Osada, K. Akimoto, T. Sato, M. Ikeda, M. Tsubuku, J. Sakata, J. Koyama, T. Serikawa, and S. Yamazaki, Jpn. J. Appl. Phys., 49, 03CC02-1 (2010).
14. H. Godo, D. Kawae, S. Yoshitomi, T. Sasaki, S. Ito, H. Ohara, H. Kishida, M. Takahashi, A. Miyanaga, and S. Yamazaki, Jpn. J. Appl. Phys., 43, 03CB04-1 (2010).
15. H. Ohara, T. Sasaki, K. Noda, S. Ito, M. Sasaki, Y. Endo, S. Yoshitomi, J. Sakata, T. Serikawa, and S. Yamazaki, Jpn. J. Appl. Phys., 43, 03CD02-1 (2010).
16. M. Takahashi, H. Kishida, A. Miyanaga, and S. Yamazaki, IDW'08 Digest, 1637 (2008).
17. J. Sakata, H. Ohara, M. Sasaki, T. Osada, H. Miyake, H. Shishido, J. Koyama, Y. Oikawa, H. Maruyama, M. Sakakura, T. Serikawa, and S. Yamazaki, IDW'09 Proc., 689 (2009).
18. S. Amano, H. Harada, K. Akimoto, J. Sakata, T. Nishi, K. Moriya, K. Wakimoto, J. Koyama, S. Yamazaki, Y. Oikawa, T. Ikeyama, and M. Sakakura, SID Symposium Digest, 41, 626 (2010).
19. H. Shishido, K. Toyotaka, M. Tsubuku, K. Noda, H. Ohara, T. Nishi, K. Moriya, H. Godo, J. Koyama, S. Yamazaki, Y. Oikawa, T. Handa, and M. Sakakura, SID Symposium Digest, 41, 1128 (2010).
20. T. Nishi, K. Moriya, S. Fukai, Y. Kubota, K. Akimoto, J. Sakata, K. Kusunoki, R. Arasawa, K. Wakimoto, J. Koyama, S. Yamazaki, Y. Oikawa, K. Okazaki, and M. Sakakura, SID Symposium Digest, 41, 1685 (2010).
21. H. Harada, A. Umezaki, S. Amano, T. Nishi, K. Moriya, K. Wakimoto, J. Koyama, S. Yamazaki, Y. Oikawa, T. Ikeyama, and M. Sakakura, Proc. AM-FPD '10 Digest, 199 (2010).
22. K. Toyotaka, K. Kusunoki, T. Nishi, K. Moriya, S. Fukai, Y. Kubotal, K. Wakimoto, J. Koyama, S. Yamazaki, Y. Oikawa, K. Okazaki, and M. Sakakura, Proc. AM-FPD '10 Digest, 17 (2010).
23. H. Godo, A. Miyanaga, K. Kusunoki, K. Toyotaka, T. Nishi, K. Moriya, S. Fukai, Y. Kubota, K. Wakimoto, J. Koyama, S. Yamazaki, Y. Oikawa, K. Okazaki, and M. Sakakura, IDW'10 Proc., 235 (2010).
24. T. Matsuzaki, H. Inoue, S. Nagatsuka, Y. Okazaki, T. Sasaki, K. Noda, Y. Sekine, D. Matsubayashi, T. Ishizu, T. Onuki, A. Isobe, Y. Shionoiri, K. Kato, J. Koyama, Y. Yamashita, and S. Yamazaki, to be published in International Memory Workshop (2011).