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Volumn 13, Issue 22, 2011, Pages 6621-6624

Tailoring phase and composition at the nanoscale: Atomic layer deposition of Zn-Ti-O thin films

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EID: 80054990447     PISSN: None     EISSN: 14668033     Source Type: Journal    
DOI: 10.1039/c1ce05923h     Document Type: Article
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References (23)


* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.