Enhancing the potential of block copolymer lithography with polymer self-consistent field theory simulations

Macromolecules

Volumn 43, Issue 19, 2010, Pages 8290-8295

  Mickiewicz, Rafal A ^a,c   Yang, Joel K W ^b,d   Hannon, Adam F ^a   Jung, Yeon Sik ^a,e   Alexander Katz, Alfredo ^a   Berggren, Karl K ^b   Ross, Caroline A ^a  

^a Massachusetts Institute of Technology Cambridge   (United States)

^b USA   (United States)

^c Fraunhofer Center for Sustainable Energy Systems   (United States)

^d INSTITUTE OF MATERIALS RESEARCH AND ENGINEERING   (Singapore)

^e Korea Advanced Institute of Science and Technology (KAIST)   (South Korea)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

BLOCK COPOLYMER LITHOGRAPHY; GRAPHOEPITAXY; HEXAGONAL LATTICE; SELF CONSISTENT FIELD THEORY; TEMPLATED; THREE DIMENSIONS;

BLOCK COPOLYMERS; COMPUTER SIMULATION; CURRENT VOLTAGE CHARACTERISTICS; MOLECULAR ORBITALS;

COPOLYMERIZATION;

EID: 77957800911     PISSN: 00249297     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/ma101360f     Document Type: Article

References (36)

1. Cheng, J. Y.; Ross, C. A.; Thomas, E. L.; Smith, H. I.; Vancso, G. J. Adv. Mater. 2003, 15, 1599-1602
2. Stoykovich, M. P.; Muller, M.; Kim, S. O.; Solak, H. H.; Edwards, E. W.; de Pablo, J. J.; Nealey, P. F. Science 2005, 308, 1442-1446
3. Bita, I.; Yang, J. K. W.; Jung, Y. S.; Ross, C. A.; Thomas, E. L.; Berggren, K. K. Science 2008, 321, 939-943
4. Cheng, J. Y.; Rettner, C. T.; Sanders, D. P.; Kim, H. C.; Hinsberg, W. D. Adv. Mater. 2008, 20, 3155-3158
5. Ruiz, R.; Kang, H. M.; Detcheverry, F. A.; Dobisz, E.; Kercher, D. S.; Albrecht, T. R.; de Pablo, J. J.; Nealey, P. F. Science 2008, 321, 936-939
6. Park, S.; Lee, D. H.; Xu, J.; Kim, B.; Hong, S. W.; Jeong, U.; Xu, T.; Russell, T. P. Science 2009, 323, 1030-1033
7. Kim, S. O.; Solak, H. H.; Stoykovich, M. P.; Ferrier, N. J.; de Pablo, J. J.; Nealey, P. F. Nature 2003, 424, 411-414
8. Wilmes, G. M.; Durkee, D. A.; Balsara, N. P.; Liddle, J. A. Macromolecules 2006, 39, 2435-2437
9. Segalman, R. A.; Hexemer, A.; Kramer, E. J. Phys. Rev. Lett. 2003, 91, 196101
10. Segalman, R. A.; Yokoyama, H.; Kramer, E. J. Adv. Mater. 2001, 13, 1152-1155
11. Stoykovich, M. P.; Kang, H.; Daoulas, K. C.; Liu, G.; Liu, C. C.; de Pablo, J. J.; Mueller, M.; Nealey, P. F. ACS Nano 2007, 1, 168-175
12. Sundrani, D.; Darling, S. B.; Sibener, S. J. Nano Lett. 2004, 4, 273-276
13. Black, C. T.; Bezencenet, O. IEEE Trans. Nanotechnol. 2004, 3, 412-415
14. Cheng, J. Y.; Mayes, A. M.; Ross, C. A. Nat. Mater. 2004, 3, 823-828
15. Park, S. M.; Craig, G. S. W.; La, Y. H.; Solak, H. H.; Nealey, P. F. Macromolecules 2007, 40, 5084-5094
16. Bates, F. S.; Fredrickson, G. H. Phys. Today 1999, 52, 32-38
17. Bates, F. S.; Fredrickson, G. H. Annu. Rev. Phys. Chem. 1990, 41, 525-557
18. Matsen, M. W.; Schick, M. Phys. Rev. Lett. 1994, 72, 2660-2663
19. Fredrickson, G. H.; Ganesan, V.; Drolet, F. Macromolecules 2002, 35, 16-39
20. Fredrickson, G. H. The Equilibrium Theory of Inhomogeneous Polymers; Oxford University Press: New York, 2006; Vol. 134.
21. Cochran, E. W.; Garcia-Cervera, C. J.; Fredrickson, G. H. Macromolecules 2006, 39, 2449-2451
22. Sides, S. W.; Kim, B. J.; Kramer, E. J.; Fredrickson, G. H. Phys. Rev. Lett. 2006, 96
23. Wu, Y. Y.; Cheng, G. S.; Katsov, K.; Sides, S. W.; Wang, J. F.; Tang, J.; Fredrickson, G. H.; Moskovits, M.; Stucky, G. D. Nat. Mater. 2004, 3, 816-822
24. Bosse, A. W.; Garcia-Cervera, C. J.; Fredrickson, G. H. Macromolecules 2007, 40, 9570-9581
25. Stein, G. E.; Cochran, E. W.; Katsov, K.; Fredrickson, G. H.; Kramer, E. J.; Li, X.; Wang, J. Phys. Rev. Lett. 2007, 98
26. Hur, S. M.; Garcia-Cervera, C. J.; Kramer, E. J.; Fredrickson, G. H. Macromolecules 2009, 42, 5861-5872
27. Pike, D. Q.; Detcheverry, F. A.; Muller, M.; de Pablo, J. J. J. Chem. Phys. 2009, 131
28. Detcheverry, F. A.; Kang, H. M.; Daoulas, K. C.; Muller, M.; Nealey, P. F.; de Pablo, J. J. Macromolecules 2008, 41, 4989-5001
29. Alexander-Katz, A.; Fredrickson, G. H. Macromolecules 2007, 40, 4075-4087
30. Alexander-Katz, A.; Moreira, A. G.; Fredrickson, G. H. J. Chem. Phys. 2003, 118, 9030-9036
31. Yang, J. K. W.; Berggren, K. K. J. Vac. Sci. Technol. B 2007, 25, 2025-2029
32. Edwards, E. W.; Montague, M. F.; Solak, H. H.; Hawker, C. J.; Nealey, P. F. Adv. Mater. 2004, 16, 1315-1319
33. Lambooy, P.; Russell, T. P.; Kellogg, G. J.; Mayes, A. M.; Gallagher, P. D.; Satija, S. K. Phys. Rev. Lett. 1994, 72, 2899-2902
34. Xiao, S. G.; Yang, X. M.; Park, S. J.; Weller, D.; Russell, T. P. Adv. Mater. 2009, 21, 2516 -+.
35. Yang, J. K. W.; Jung, Y. S.; Chang, J. B.; Mickiewicz, R. A.; Alexander-Katz, A.; Ross, C. A.; Berggren, K. K. Nature Nanotechnol. 2010, 5, 256-260
36. Cheng, J. Y.; Zhang, F.; Chuang, V. P.; Mayes, A. M.; Ross, C. A. Nano Lett. 2006, 6, 2099-2103