Time and thickness dependence of crystallization of amorphous magnetron deposited TiO 2 thin films

Zeitschrift fur Kristallographie, Supplement

Volumn , Issue 30, 2009, Pages 235-240

  Nichtova L ^a   Kuzel R ^a   Matej Z ^a   Sicha J ^b   Musil, J ^b  

^a CHARLES UNIVERSITY   (Czech Republic)

^b UNIVERSITY OF WEST BOHEMIA   (Czech Republic)

Author keywords

Crystallization; In situ measurements; Titanium dioxide

Indexed keywords

EID: 77956545226     PISSN: 0930486X     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1524/zksu.2009.0034     Document Type: Conference Paper

References (11)

1. Gaho, L. & Zhang, Q, 2001, Scr. Mater., 44, 1195.
2. Kužel, R., Nichtová, L., Matěj, Z., Heřman, D., Šícha, J. & Musil, J., 2007, Z. Kristallogr. Suppl., 26, 247.
3. Kužel, R., Nichtová, L., Matěj, Z., Heřman, D., Šícha, J. & Musil, J., 2007, Z. Kristallogr. Suppl., 26, 241.
4. Musil, J., Heřman, D. & Šícha, J., 2006, J. Vac. Sci. Technol. A, Vol. 24, (3), 521.
5. Kužel, R., Nichtová, L., Matěj, Z., Šícha, J. & Musil, J., 2008, Z. Kristallogr., in press.
6. Matěj, Z., Nichtová, L. & Kužel, R., 2008, Materials Structure in Chemistry, Biology, Physics and Technology, 15, (1), 46, open acces at http://www.xray.cz/ms.
7. Avrami, M. J., 1939, J. Chem. Phys., 7, 1103.
8. Avrami, M. J., 1941, J. Chem. Phys., 8, 212.
9. Her, Y-C. & Hsu, Y-S., 2008, J. Non-Cryst. Sol., 354, 3129.
10. Cho, T. S., Doh, S. J., Je, J. H. & Noh, D. Y., 1999, J. Appl. Phys., 86, 1958.
11. Xiaoqian, W., Luping, S. Chong, C. T., Rong, Z. & Koon, L. H., 2007, Jpn. J. Appl. Phys., 46, 2211.