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Volumn 57, Issue 1, 2010, Pages 173-181

Discharge characteristics and non-spectral interferences on the emission of Ca species in a medium power radiofrequency capacitively coupled plasma source

(5) Frentiu, Tiberiu a Ponta, Michaela a Darvasi, Eugen a Frentiu, Maria b Cordos, Emil A b

a BABE BOLYAI UNIVERSITY (Romania)

b National Institute for Research and Development of Optoelectronics Bucharest (Romania)

Author keywords

Ca determination; Non spectral interference; Optical emission spectrometry; Radiofrequency capacitively coupled plasma

Indexed keywords

EID: 77949680013 PISSN: 13180207 EISSN: None Source Type: Journal
DOI: None Document Type: Article

Times cited : (10)

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* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.