Enhanced properties of transparent conductive oxide films prepared on PEN substrates with a (SiO 2) 40(ZnO) 60 gas barrier layer

Journal of the Korean Physical Society

Volumn 55, Issue 1, 2009, Pages 197-201

  Kim, Hwa Min ^a   Kwon, Oh Jung ^a  

^a Catholic University of Daegu   (South Korea)

Author keywords

Bending test; Flexible substrate; Gas barrier; RF magnetron sputtering; TCO; WVTR

Indexed keywords

EID: 69249185668     PISSN: 03744884     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.3938/jkps.55.197     Document Type: Article

References (11)

1. A. Gruniger and Ph. R. V. Rohr, Thin Solid Films 459, 308 (2004).
2. H. Chatham, Surf. Coat. Tech. 78, 1 (1996).
3. A. S. D. S. Sobrinho, M. Latreche, G. Czeremuszkin, J. E. K. Sapieha and M. R. Wertheimer, J. Vac. Sci. Tech. A 16, 3190 (1999).
4. M. Fujihira, L. M. Do, A. Koike and E. M. Han, Appl. Phys. Lett. 68, 1787 (1996).
5. M. Vogt and R. Hauptman, Surf. Coat. Tech. 74-75, 676 (1995).
6. A. G. Erlat, B. M. Heny, J. J. Ingram, D. B. Moutain, A. McGuigan, R. P. Howson, C. R. M. Grovenor, G. A. D. Briggs and Y. Tsukahara, Thin Solid Films 388, 78 (2001).
7. A. G. Erlat, B. M. Heny, J. J. Ingram, C. R. M. Grovenor, G. A. D. Briggs, R. J. Chater and Y. Tsukahara, J. Phys. Chem. B 108, 883 (2004).
8. J. Y. Yang, S. T. Kim, J. S. Hong, W. P. Hong, J. J. Kim, S. H. Park, H. M. Kim and J. M. Moon, J. Korean Phys. Soc. 50, 910 (2007).
9. J. S. Hong, B. R. Rhee, H. M. Kim, K. C. Je, Y. J. Kang and J. S. Ahn, Thin Solid Films 467, 158 (2004).
10. Y.-G. Kim, S.-W. Ryu, D.-S. Kim, B.-R. Rhee, J.-J. Kim, W.-P. Hong, H.-M. Kim and S.-H. Park, J. Korean Phys. Soc. 53, 1722 (2008).
11. H. M. Kim, S. K. Jung, J. S. Ahn, Y. J. Kang and K. C. Je, Jpn. J. Appl. Phys. 42, 223 (2003).