Photoluminescence characterization of Al-doped ZnO films deposited by using DC magnetron sputtering

Journal of the Korean Physical Society

Volumn 54, Issue 3, 2009, Pages 1344-1347

  Park, Se Hun ^a   Park, Sang Eun ^a   Lee, Jung Chul ^a   Song, Pung Keun ^a   Lee, Jin Ho ^b  

^a Pusan National University   (South Korea)

^b Samsung Corning Co Ltd   (South Korea)

Author keywords

AZO film; DC magnetron sputtering; Photoluminescence; TCO

Indexed keywords

EID: 64549100817     PISSN: 03744884     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.3938/jkps.54.1344     Document Type: Article

References (14)

1. S. H. Jeong, B. N. Park, D. G. Yoo, D. G. Jung and J. H. Boo, J. Korean Phys. Soc. 50, 622 (2007).
2. J. C. Lee, Y. D. Kim, J. H. Lee, Y. S. Kim, C. S. Son and P. K. Song, J. Korean Phys. Soc. 53, 416 (2008).
3. A. Janotti and C. G. Van de Walle, J. Cryst. Growth 287, 58 (2006).
4. M. A. Reshchikov and H. Morkoc, J. Appl. Phys. 97, 61301 (2005).
5. D. K. Lee, S. Kim, M. C. Kim, S. H. Eom, H. T. Oh and S. H. Choi, J. Korean Phys. Soc. 51, 1378 (2007).
6. S. C. Liao, H. F. Lin, S. W. Hung and C. T. Hu, J. Vacuum Sci. Tech. B 24, 1322 (2006).
7. M. S. Wang, K. E. Lee, S. H. Hahn, E. J. Kim, S. W. Kim, J. S. Chung, E. W. Shin and C. H. Park, Mater. Lett. 61, 1118 (2007).
8. R. K. Gupta, K. Ghosh, R. Patel, S. R. Mishra and P. K. Kahol, J. Cryst. Growth 310, 3019 (2008).
9. N. Ito, Y. Sato, P. K. Song, A. Kaijio, K. Inoue and Y. Shigesato, Thin Solid Films 496, 99 (2006).
10. Y. Morinaga, K. Sakuragi, N. Fujimura, T. Ito, J. Cryst. Growth 174, 691 (1997)
11. D. N. Lee, J. Mater. Sci. 24, 4375 (1989)
12. S. S. Lin, J. L. Huang and D. F. Lii, Surface & Coating Tech. 76, 173 (2004).
13. H. Kim, A. Pique, J. S. Horwitz, H. Murata, Z. H. Kafafi, C. M. Gilmore, D. B. Chrisey, Thin Solid Films 377, 798 (2000)
14. P. K. Song, D. Sato, M. Kon and Y. Shigesato, Vacuum 66, 373 (2002).