Growth and characterization of hIGH-Ge content SiGe virtual substrates

Proceedings - Electrochemical Society

Volumn 11, Issue , 2003, Pages 106-117

  Erdtmann, M ^a   Carroll, M ^a   Carlin, J ^a   Langdo, T A ^a   Westhoff, R ^a   Leitz, C ^a   Yang, V ^a   Currie, M T ^a   Lochtefeld, A ^a   Petrocelli, K ^a   Vineis, C J ^a   Badawi, H ^a   Bulsara, M T ^a   Ringel, S ^b   Andre, C L ^b   Khan, A ^b   Hudait, M K ^b  

^a AmberWave Systems Corporation   (United States)

^b Ohio State University   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

GRADED BUFFERS; SIGE; VIRTUAL SUBSTRATES;

CHARACTERIZATION; CHEMICAL VAPOR DEPOSITION; CMOS INTEGRATED CIRCUITS; DENSITY (SPECIFIC GRAVITY); DISLOCATIONS (CRYSTALS); EPITAXIAL GROWTH; LIGHT EMITTING DIODES; NUCLEATION; SILICON COMPOUNDS; SOLAR CELLS; SURFACE ROUGHNESS;

GERMANIUM;

EID: 5744231904     PISSN: None     EISSN: None     Source Type: Conference Proceeding    
DOI: None     Document Type: Conference Paper

References (15)

1. J. R. Hwang, J. H. Ho, S. M. Ting, T. P. Chen, Y. S. Hsieh, C. C. Huang, Y. Y. Chiang, H. K. Lee, A. Liu, T. M. Shen, G. Braithwaite, M. T. Currie, N. Gerrish, R. Hammond, A. Lochtefeld, F. Singaporewala, M. T. Bulsara, Q. Xiang, M. R. Lin, W. T. Shiau, Y. T. Loh, J. K. Chen, S. C. Chien, S. W. Sun and F. Wen, VLSI Technol. Dig., 103 (2003).
2. Q. Xiang, J. S. Goo, J. Pan, B. Yu, S. Ahmed, J. Zhang, and M. R. Lin, VLSI Technol. Dig., 101 (2003).
3. K. Rim, S. Koester, M. Hargrove, J. Chu, P. M. Mooney, J. Ott, T. Kanarsky, P. Ronsheim, M. Ieong, A. Grill, and H. S. P. Wong, VLSI Technol. Dig., 59 (2001).
4. M. L. Lee, C. W. Leitz, Z. Cheng, A. J. Pitera, T. Langdo, M. T. Currie, G. Taraschi, E. A. Fitzgerald, and D. A. Antoniadis, Appl. Phys. Lett. 79, 3344 (2001).
5. E. A. Fitzgerald, Y. H. Xie, D. Monroe, P. J. Silverman, J. M. Kuo, A. R. Kortan, F. A. Thiel, and B. E. Weir, J. Vac. Sci. Technol. B 10, 1807 (1992).
6. E. A. Fitzgerald, Y. H. Xie, M. L. Green, D. Brasen, A. R. Kortan, J. Michel, Y. J. Mii, B. E. Weir, Appl. Phys. Lett. 59, 811 (1991).
7. M. T. Currie, S. B. Samavedam, T. A. Langdo, C. W. Leitz, and E. A. Fitzgerald, Appl. Phys. Lett. 72, 1718 (1998).
8. E. A. Fitzgerald, M. T. Currie, S. B. Samavedam, T. A. Langdo, G. Taraschi, V. Yang, C. W. Leitz, and M. T. Bulsara, Phys. Stat. Sol. A 171, 227 (1999).
9. T. Soga, T. Jimbo, and M. Umeno, J. Cryst. Growth 163, 165 (1996).
10. E. A. Fitzgerald, A. Y. Kim, M. T. Currie, T. A. Langdo, G. Taraschi, and M. T. Bulsara, Mater. Sci. Eng. B 67, 53 (1999).
11. C. W. Leitz, M. T. Currie, A. Y. Kim, J. Lai, E. Robbins, E. A. Fitzgerald, and M. T. Bulsara, J. Appl. Phys. 90, 2730 (2001).
12. P. Kightley, P. J. Goodhew, R. R. Bradley, and P. D. Augustus, J. Cryst. Growth 112, 359 (1991).
13. S. A. Ringel, J. A. Carlin, J. J. Boeckl, R. J. Kaplar and E. A. Fitzgerald, Solar Energy Mater. Solar Cells 66, 621 (2001).
14. J. A. Carlin, Ph. D. Dissertation, The Ohio State University (2001).
15. M. E. Groenert, A. J. Pitera, R. J. Ram, and E. A. Fitzgerald, J. Vac. Sci. Technol. B 21, 1064 (2003).