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Volumn 1, Issue 3, 2002, Pages 270-275

Photoresists for microlithography, or the Red Queen's race

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193 nm; 248 nm; 365 nm; Equivalent NA; Photoresist

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EID: 43649105274     PISSN: 15371646     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1117/1.1507335     Document Type: Article
Times cited : (7)

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    • (1993) Opt. Eng. , vol.32 , Issue.10 , pp. 2363-2367


* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.