Mikromechanische Sensoren und Aktoren - Funktionsprinzipien, Technologien und Applikationen

VDI Berichte

Volumn , Issue 1530, 2000, Pages 211-220

  Gessner T ^a   Dotzel W ^a   Miller, K ^a   Kaufmann, C ^a   Kurth, S ^a  

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EID: 4243549323     PISSN: 00835560     EISSN: None     Source Type: Book Series    
DOI: None     Document Type: Article

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