Optimized pulsed laser deposition by wavelength and static electric field control: The case of tetrahedral amorphous carbon films

Journal of Applied Physics

Volumn 101, Issue 12, 2007, Pages

  Patsalas, P ^a   Kaziannis, S ^a   Kosmidis, C ^a   Papadimitriou, D ^a   Abadias, G ^b   Evangelakis, G A ^a  

^a UNIVERSITY OF IOANNINA   (Greece)

^b UNIVERSITÉ DE POITIERS   (France)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ELECTRIC FIELDS; HARMONIC GENERATION; LASER ABLATION; PULSED LASER DEPOSITION;

IONIZED SPECIES; PLUME; SURFACE SMOOTHING; VACUUM AMBIENT; YTTRIUM ALUMINUM GARNET LASER DEPOSITION;

CARBON FILMS;

EID: 34547280382     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.2745445     Document Type: Article

References (36)

1. J. Robertson, Mater. Sci. Eng., R. 37, 129 (2002).
2. A. A. Puretzky, H. Schittenhelm, X. Fan, M. J. Lance, L. F. Allard, and D. B. Geohegan, Phys. Rev. B 65, 245425 (2002).
3. T. A. Friedmann, J. P. Sullivan, J. A. Knapp, D. R. Tallant, D. M. Follstaedt, D. L. Medlin, and P. B. Mirkarimi, Appl. Phys. Lett. 71, 3820 (1997).
4. F. Xiong, Y. Y. Wang, and R. P. H. Chang, Phys. Rev. B 48, 8016 (1993).
5. P. M. Ossi, C. E. Bottani, and A. Miotello, Thin Solid Films 482, 2 (2005).
6. M. P. Siegal, D. R. Tallant, P. N. Provencio, D. L. Overmyer, R. L. Simpson, and L. J. Martinez-Miranda, Appl. Phys. Lett. 76, 3052 (2000).
7. E. Cappelli, C. Scilletta, S. Orlando, R. Flamini, S. Iacobucci, and P. Ascarelli, Thin Solid Films 482, 305 (2005).
8. A. A. Voevodin, M. S. Donley, and J. S. Zabinski, Surf. Coat. Technol. 92, 42 (1997).
9. F. Balon, V. Stolojan, S. R. P. Silva, M. Michalka, and A. Kromka, Vacuum 80, 163 (2005).
10. O. Olea-Cardoso, E. Camps, L. Escobar-Alarcón, S. Muhl, S. E. Rodil, M. A. Camacho-López, and E. Haro-Poniatowski, Thin Solid Films 433, 27 (2003).
11. E. Cappelli, S. Orlando, G. Mattei, F. Pinzari, and S. Zoffoli, Appl. Surf. Sci. 186, 441 (2002).
12. E. Cappelli, S. Orlando, G. Mattei, C. Scilletta, F. Corticelli, and P. Ascarelli, Appl. Phys. A: Mater. Sci. Process. 79, 2063 (2004).
13. A. H. Jayatissa, F. Sato, N. Saito, H. Ohnishi, K. Takizawa, Y. Nakanishi, and T. Yamaguchi, Mater. Sci. Eng., B 55, 143 (1998).
14. W. Wang, K. Liao, B. Wang, and J. Xiao, Proc. SPIE 3862, 479 (1999).
15. S. R. P. Silva, J. D. Carey, X. Guo, W. M. Tsang, and C. H. P. Poa, Thin Solid Films 482, 79 (2005).
16. Y. Lifshitz, S. R. Kasi, and J. W. Rabalais, Phys. Rev. Lett. 62, 1290 (1989).
17. J. J. Cuomo, D. L. Pappas, J. Bruley, J. P. Doyle, and K. L. Saenger, J. Appl. Phys. 70, 1706 (1991).
18. M. Chhowalla, J. Robertson, C. W. Chen, S. R. P. Silva, C. A. Davis, G. A. J. Amaratunga, and W. I. Milne, J. Appl. Phys. 81, 139 (1997).
19. C. Mathioudakis, G. Kopidakis, P. C. Kelires, P. Patsalas, M. Gioti, and S. Logothetidis, Thin Solid Films 482, 151 (2005).
20. D. L. Pappas, K. L. Saenger, J. Bruley, W. Krakow, J. J. Cuomo, T. Gu, and R. W. Collins, J. Appl. Phys. 71, 5675 (1992).
21. C.-R. Wang, R.-B. Huang, Z.-Y. Liu, and L. S. Zheng, Chem. Phys. Lett. 227, 109 (1994).
22. L. G. Parratt, Phys. Rev. 0031-899X 10.1103/PhysRev.95.359 95 (1954) 359; L. G. Parratt and C. F. Heampsted, Phys. Rev. 94, 1593 (1954).
23. L. G. Parratt, Phys. Rev. 0031-899X 10.1103/PhysRev.95.359 95 (1954) 359; L. G. Parratt and C. F. Heampsted, Phys. Rev. 94, 1593 (1954).
24. A. C. Ferrari, A. Libassi, B. K. Tanner, V. Stolojan, J. Yuan, L. M. Brown, S. E. Rodil, B. Kleinsorge, and J. Robertson, Phys. Rev. B 62, 11089 (2000).
25. P. Patsalas, P. C. Kelires, and S. Logothetidis, Diamond Relat. Mater. 14, 1241 (2005).
26. C. Mathioudakis, G. Kopidakis, P. C. Kelires, C. Z. Wang, and K. M. Ho, Phys. Rev. B 70, 125202 (2004).
27. C. A. Davis, G. A. J. Amaratunga, and K. M. Knowles, Phys. Rev. Lett. 80, 3280 (1998).
28. Y.-K. Choi, H.-S. Im, and K.-W. Jung, Int. J. Mass. Spectrom. 189, 115 (1999).
29. N. Matsuyama, K. Yukimura, and T. Maruyama, J. Appl. Phys. 89, 1938 (2001).
30. K. Yamamoto, Y. Koga, S. Fujiwara, F. Kokai, and R. B. Heimann, Appl. Phys. A: Mater. Sci. Process. 66, 115 (1998).
31. K. Yamamoto, Y. Koga, S. Fujiwara, and F. Kokai, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 36, L1333 (1997).
32. J. B. Kortright, J. Appl. Phys. 70, 4286 (1991).
33. C. Casiraghi, A. C. Ferrari, R. Ohr, A. J. Flewitt, D. P. Chu, and J. Robertson, Phys. Rev. Lett. 91, 226104 (2003).
34. A. V. Rode, B. Luther-Davies, and E. G. Gamaly, J. Appl. Phys. 85, 4222 (1999).
35. Z. Geretovszky, T. Haraszti, T. Szöŕnyi, F. Antoni, and E. Fogarassy, Appl. Surf. Sci. 208/209, 566 (2003).
36. P. Patsalas, C. Gravalidis, and S. Logothetidis, J. Appl. Phys. 96, 6234 (2004).