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VDI Berichte
Volumn , Issue 1950, 2006, Pages 119-128
Measurement of micro-geometry using white-light interferometry and confocal microoptical sensors: Measuring principles, applications, limitations;Geometrieerfassung an Mikrobauteilen Mittels Weißlichtinterferometrie und Konfokaler Mikrosensoren: Messprinzipien, Anwendungen, Einschränkungen
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CONFOCAL MICROSCOPY; HEIGHT STEP STRUCTURES; MICROSYSTEMS TECHNOLOGY; WHITE-LIGHT INTERFERENCE MICROSCOPY;
EID: 33846093032     PISSN: 00835560     EISSN: None     Source Type: Book Series    
DOI: None     Document Type: Article
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    • P. Lehmann, Mikrooptische Sensoren für taktile Messgeräte - Optisches Pendant, QZ Qualität und Zuverlässigkeit, Hanser-Verlag 09/2006, S. 68-71.
    • P. Lehmann, "Mikrooptische Sensoren für taktile Messgeräte - Optisches Pendant", QZ Qualität und Zuverlässigkeit, Hanser-Verlag 09/2006, S. 68-71.

* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.