Studies of novel copolymers for deep-UV photoresists. I. Synthesis and properties of poly(styrene-co-silicon-containing maleimide)

Journal of Applied Polymer Science

Volumn 102, Issue 4, 2006, Pages 3369-3375

  Shu, Wei Jye ^a  

^a TA HWA INSTITUTE OF TECHNOLOGY   (Taiwan)

Author keywords

Copolymerization; Poly(styrene co maleimide); Reactivity ratio

Indexed keywords

COPOLYMERIZATION; DIFFERENTIAL SCANNING CALORIMETRY; LEAST SQUARES APPROXIMATIONS; PHOTORESISTS; PYROLYSIS; SOLUBILITY;

POLYSTYRENE-CO-MALEIMIDE; RADICAL POLYMERIZATION; REACTIVITY RATIO;

COPOLYMERS;

COPOLYMER; MONOMER; POLYMERIZATION; POLYSTYRENE; SYNTHESIS;

EID: 33750317338     PISSN: 00218995     EISSN: 10974628     Source Type: Journal    
DOI: 10.1002/app.24814     Document Type: Article

References (36)

1. Ahn, K. D.; Koo, J. S.; Chung, C. M. J Polym Sci Part A: Polym Chem 1996, 34, 183.
2. Chiang, W. Y.; Lu, J. Y. J Appl Polym Sci 1993, 50, 1007.
3. Iijima, T.; Arai, N.; Takematsu, K.; Fukuda, W.; Tomoi, M. Eur Polym J 1992, 28, 1539.
4. Iijima, T.; Miura, S.; Fukuda, W.; Tomoi, M. Eur Polym J 1993, 29, 1103.
5. Iijima, T.; Hirano, M.; Fukuda, W.; Tomoi, M. Eur Polym J 1993, 29, 1399.
6. Matsumoto, A.; Hasegawa, K.; Fukuda, A.; Pae, J. S. Polym Int 1993, 31, 275.
7. Kim, S. T.; Kim, J. B.; Chung, C. M.; Ahn, K. D. J Appl Polym Sci 1997, 66, 2507.
8. Ahn, K. D.; Koo, D. I.; Willson, C. G. Polymer 1995, 36, 2621.
9. Ahn, K. D.; Chung, C. M.; Jo, H. S.; Rhee, J. M. Polym Int 1998, 47, 407.
10. Chiang, W. Y.; Lin, Y. C. J Appl Polym Sci 2002, 83, 2791.
11. Chiang, W. Y.; Lee, M. L. J Appl Polym Sci 2003, 90, 1032.
12. Schaedeli, U.; Hofmann, M.; Tinguely, E.; Munzel, N. Polym Mater Sci Eng 1995, 72, 106.
13. Taylor, G. N.; Wolf, T. M.; Stillwagon, L. E. Solid State Technol 1984, 27, 145.
14. Shan, G. R.; Weng, Z. X.; Huang, Z. M.; Pan, Z. R. J Appl Polym Sci 1997, 63, 1535.
15. Park, K. H.; Lim, J. T.; Song, S.; Kwak, M. G.; Lee, C. J.; Kim, N. React Funct Polym 1999, 40, 169.
16. Suwier, D. R.; Teerenstra, M. N.; Vanhaecht, B.; Koning, C. E. J Polym Sci Part A: Polym Chem 2000, 38, 3558.
17. Ajay, K. J Macromol Sci Chem 1987, 24, 711.
18. Lim, K. T.; Lee, H. J.; Choi, S. K. Polym Bull 1996, 37, 699.
19. Jungang, G.; Guodong, L.; Liting, Y.; Liucheng, Z. Polym Eng Sci 2000, 40, 1226.
20. Iwao, T.; Hiroshi, M.; Megumi, H.; Hirishi, A.; Hisashi, K. Kobunshi Ronbunshu 1990, 47, 569.
21. Salman, I. A.; Al-Sagheer Fakhria, A.; Elsabee, M. Z. J Macromol Sci Pure Appl Chem 1997, 34, 1207.
22. Seiner, J. A.; Litt, M. Macromolecules 1971, 4, 308.
23. Cais, R. E.; Farmer, R. G.; Hill, D. J. T.; O'Donnell, J. H. Macromolecules 1979, 12, 835.
24. Yoshimura, M.; Shirota, Y.; Mikawa, H. Am Chem Soc 1976, 17, 590.
25. Iwakura,Y.; Toda, F.; Kusugi, M.; Torii, Y. J Polym Sci Part A-1: Polym Chem 1971, 9, 2423.
26. Shu, W. J.; Ho, J. C.; Perng, L. H. Eur Polym J 2005, 41, 149.
27. Mayo, F. R.; Lewis, F. M. J Am Chem Soc 1944, 66, 1594.
28. Turner, S. R.; Arcus, R. A.; Houle, C. G.; Schleigh, W. R. Polym Eng Sci 1986, 26, 1096.
29. Fineman, M.; Ross, S. D. J Polym Sci 1950, 2, 259.
30. Kelen, T.; Tüdos, F. J Macromol Sci Chem 1975, 9, 1.
31. Tidwell, P. W.; Mortimer, G. A. J Polym Sci Part A: Gen Pap 1965, 3, 369.
32. Fox, T. G. Bull Am Phys Soc 1956, 1, 123.
33. Kwei, T. K. J Polym Sci Polym Lett Ed 1984, 22, 307.
34. Johnston, N. W. J Macromol Sci Rev Macromol Chem 1976, 14, 215.
35. Shu, W. J.; Perng, L. H.; Chin, W. K.; Hsu, C. Y. J Macromol Sci Pure Appl Chem 2003, 40, 897.
36. Foster, M.; Darlington, B.; Scharff, J.; Campion, A. Surface Sci 1997, 375, 35.