Residual stress minimum in nanocrystalline diamond films

Applied Physics Letters

Volumn 89, Issue 9, 2006, Pages

  Vila, M ^a   Amaral, M ^a   Oliveira, F J ^a   Silva, R F ^a   Fernandes, A J S ^b   Soares, M R ^b  

^a UNIVERSITY OF AVEIRO   (Portugal)

^b UNIVERSITY OF AVEIRO   (Portugal)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ARGON; CHEMICAL VAPOR DEPOSITION; DEPOSITION; DIAMONDS; GRAIN BOUNDARIES; OPTIMIZATION; RESIDUAL STRESSES; SILICON NITRIDE; SUBSTRATES; THIN FILMS; X RAY DIFFRACTION ANALYSIS;

GAS MIXTURES; NANOCRYSTALLINE DIAMOND FILMS; NONDIAMOND PHASES; SILICON NITRIDE SUBSTRATES;

NANOSTRUCTURED MATERIALS;

EID: 33748255714     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.2339042     Document Type: Article

References (22)

1. K. Brühne, K. V. Kumar, H. J. Fecht, P. Gluche, and A. Flöter, Rev. Adv. Mater. Sci. 10, 224 (2005).
2. S. O. Kucheyev, J. Biener, J. W. Tringe, Y. M. Wang, P. B. Mirkarimi, T. van Buuren, S. L. Baker, A. V. Hamza, K. Brühne, and H. J. Fetch, Appl. Phys. Lett. 86, 221914 (2005).
3. J. Philip, P. Hess, T. Feygelson, J. E. Butler, S. Chattopadhyay, H. Chen, and L. C. Chen, J. Appl. Phys. 93, 2164 (2003).
4. J. R. Rabeau, P. John, J. I. B. Wilson, and Y. Fan, J. Appl. Phys. 96, 6724 (2004).
5. S. Bohr, R. Baubner, and B. Lux, Appl. Phys. Lett. 68, 1075 (1996).
6. T. Lin, G. Y. Yu, A. T. S. Wee, Z. X. Chen, and Kian Ping Loh, Appl. Phys. Lett. 77, 2692 (2000).
7. N. G. Ferreira, E. Abramof, N. F. Leite, E. J. Corat, and V. J. Trava-Airoldi, J. Appl. Phys. 91, 2466 (2002).
8. M. Amaral, M. A. Costa, M. A. Lopes, R. F. Silva, J. D. Santos, and M. H. Fernades, Biomaterials 23, 4897 (2002).
9. C. S. Abreu, F. J. Oliveira, M. Belmonte, A. J. S. Fernandes, R. F. Silva, and J. R. Gomes, Wear 259, 771 (2005).
10. P. Bruno, F. Benedic, A. Tallaire, F. Silva, F. J. Oliveira, M. Amaral, A. J. S. Fernandes, G. Cicala, and R. F. Silva, Diamond Relat. Mater. 14, 432 (2005).
11. C. S. Abreu, M. Amaral, F. J. Oliveira, A. Tallaire, F. Benedic, O. Syll, G. Cicala, J. R. Gomes, and R. F. Silva, Surf. Coat. Technol. 200 6235 (2006).
12. M. Amaral, F. J. Oliveira, M. Belmonte, A. J. S. Fernandes, F. M. Costa, and R. F. Silva, Diamond Relat. Mater. 13, 643 (2004).
13. Y. F. Zhang, F. Zhang, Q. J. Gao, X. F. Peng, and Z. D. Lin, Diamond Relat. Mater. 10, 1523 (2001).
14. M. R. Soares, M. Belmonte, and R. F. Silva, J. Appl. Phys. 94, 5633 (2003).
15. S. Zhang, H. Xie, X. Zeng, and P. Hing, Surf. Coat. Technol. 122, 219 (1999).
16. P. Scardi, M. Leoni, G. Capuccio, V. Sessa, and M. L. Terranova, Diamond Relat. Mater. 6, 807 (1997).
17. R. Peiffer, H. Kuzmany, N. Salk, and B. Günther, Appl. Phys. Lett. 82, 4149 (2003).
18. O. Durand, J. Olivier, R. Bisaro, P. Galtier, J. K. Klüger, C. J. Brierley, and G. R. Kennedy, Appl. Phys. Lett. 75, 1881 (1999).
19. T. Sharda, T. Soga, T. Jimbo, and M. Umeno, Diamond Relat. Mater. 10, 352 (2001).
20. J. Robertson, Mater. Sci. Eng., R. 37, 129 (2002).
21. M. C. Polo, J. L. Andujar, A. Hart, J. Robertson, and W. I. Milne, Diamond Relat. Mater. 9, 663 (2000).
22. P. J. Fallon, V. S. Veerasamy, C. A. Davis, J. Robertson, G. A. J. Amaratunga, W. I. Milne, and J. Koskinen, Phys. Rev. B 48, 4777 (1993).