Transparent perfluoropolyethers for vacuum ultraviolet applications

Journal of Physical Chemistry B

Volumn 110, Issue 24, 2006, Pages 12172-12178

  Bassi, Mattia ^a   Guarda, Pier Antonio ^a   Pagano, Elvira ^a   Sanguineti, Aldo ^a   Marchionni, Giuseppe ^a  

^a Solvay Solexis   (Italy)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

CONTAMINATION; LIGHT ABSORPTION; POLYETHERS; QUANTUM THEORY; SYNTHESIS (CHEMICAL);

ATMOSPHERIC GASES; OPTICAL ABSORBANCE; PERFLUOROPOLYETHERS; VACUUM ULTRAVIOLET APPLICATIONS;

FLUORINE CONTAINING POLYMERS;

EID: 33745784401     PISSN: 15206106     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/jp060205f     Document Type: Article

References (34)

1. Wallace, B. A. J. Synchrotron Radiat. 2000, 7, 289.
2. Ullaland, O. Nucl. Instrum. Methods Phys. Res., Sect. A 2005, 555, 107.
3. Albrecht, E.; Baum, G.; Bellunato, T.; Bressan, A.; Dalla Torre, S.; D'Ambrosio, C.; Davenport, M.; Dragicevic, M.; Duarte Pinto, S.; Fauland, P.; Ilie, S.; Lenzen, G.; Pagano, P.; Piedigrossi, D.; Tessarotto, F.; Ullaland, O. Nucl. Instrum. Methods Phys. Res., Sect. A 2003, 510, 262.
4. Greuters J.; Rizvl, N. H. Proc. SPIE-Int. Soc. Opt. Eng. 2003, 4941, 77.
5. Perrotet, D.; Amorosi, S.; Richerzhagen, B. Proc. SPIE-Int. Soc. Opt. Eng. 2005, 5961, 596105.
6. Mulkens, J.; Flagello, D. G.; Streefkerk, B.; Graeupner, P. J. Microlithogr., Microfabr., Microsyst. 2004, 3, 104.
7. Rothschild, M.; Bloomstein, T. M.; Fedynyshyn, T. H.; Liberman, V.; Mowers, W.; Sinta, R.; Switkes, M.; Grenville, A.; Orvek, K. J. Fluorine Chem. 2003, 122, 3.
8. Streefkerk, B.; Baselmans, J.; Gehoel-van Ansem, W.; Mulkens, J.; Hoogendam, C.; Hoogendorp, M.; Flagello, D. G.; Sewell, H.; Graupner, P. Proc. SPIE-Int. Soc. Opt. Eng. 2004, 5377, 285.
9. Lin, B.-J. Proc. SPIE-Int. Soc. Opt. Eng. 2004, 5377, 46.
10. Kunz, R. R.; Switkes, M.; Sinta, R.; Rothschild, M.; Curtin, J. E.; French, R. H.; Wheland, R. C.; Kao, C.-P. C.; Mawn, M. P.; Lin, L.; Wetmore, P.; Krukonis, V.; Williams, K. J. Microlithogr., Microfabr., Microsyst. 2004, 3, 73.
11. Nagayama, K.; Miyamae, T.; Mitsumoto, R.; Ishii, H.; Ouchi, Y.; Seki, K. J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom. 1996, 8, 407.
12. Marchionni, G.; Ajroldi, G.; Pezzin, G. In Comprehensive Polymer Science; Aggarwal, S. L., Russo, S., Eds.; Pergamon Press: London, 1996; 2nd Supplement.
13. Cantow, M. J. R.; Larrabee, R. B.; Barral, E. M., II.; Butner, R. S.; Cotts, P.; Levy, F.; Ting, T. Y. Makromol. Chem. 1986, 187, 2475.
14. Sianesi, D.; Marchionni, G.; De Pasquale, R. J. In Organofluorine Chemistry: Principles and Commercial Applications; Banks, R. E., Ed.; Plenum Press: New York, 1994.
15. Koike, M. Normal incidence monochromators and spectrometers. In Vacuum Ultraviolet Spectroscopy II; Samson, J. A. R., Ederer, D. L., Eds.; Experimental Methods in Physical Sciences 32; Academic Press: New York, 1998; pp 1-20.
16. Lee, K.; Jockusch, S.; Turro, N. J.; French, R. H.; Wheland, R. C.; Lemon, M. F.; Braun, A. M.; Widerschpan, T.; Dixon, D. A.; Li, J.; Ivan, M.; Zimmerman, P. J. Am. Chem. Soc. 2005, 127, 8320.
17. Marchionni, G.; Bassi, M.; Fontana, G.; Maccone, P.; Ajroldi, G. J. Fluorine Chem. 1999, 98, 41.
18. Tonelli, C.; Gavezotti, P.; Strepparola, E. J. Fluorine Chem. 1999, 95, 51.
19. Avataneo, M.; De Patto, U.; Galimberti, M.; Marchionni, G. J. Fluorine Chem. 2005, 126, 633.
20. Marchionni, G.; Pagano, E.; Guarda, P. A. Eur. Pat. Appl. 1, 524,-287 A1, 2005.
21. Bassi, M.; Guarda, P. A. Eur. Pat. Appl. 1,521,118 A2, 2005.
22. Marchionni, G.; Guarda, P. A. U. S. Patent 5,744,651, 1998.
23. Yoshino, K.; Parkinson, W. H.; Ito, K.; Matsui, T. J. Mol. Spectrosc. 2005, 229, 238.
24. Becke, A. D. J. Chem. Phys. 1988, 88, 2547.
25. Lee, C.; Yang, W.; Parr, R. G. Phys. Rev. B 1988, 37, 786.
26. Radice, S.; Causà, M.; Marchionni, G. J. Fluorine Chem. 1998, 88, 127.
27. Radice, S.; Tortelli, V.; Causà, M.; Castiglioni, C.; Zerbi, G. J. Fluorine Chem. 1999, 95, 105.
28. Zhan, C.-G.; Dixon, D. A.; Matsuzawa, N. N.; Ishitani, A.; Uda, T. J. Fluorine Chem. 2003, 122, 27.
29. Waterland, R. L.; Dobbs, K. D.; Rinehart, A. M.; Feiring, A. E.; Wheland, R. C.; Smart, B. E. J. Fluorine Chem. 2003, 122, 37.
30. Doucet, J.; Sauvageau, P.; Sandorfy, C. J. Chem. Phys. 1973, 58, 3708.
31. Chou, C. C.; Milstein, R. J.; Smith, W. S.; Vera Ruiz, H.; Molina, M. J.; Rowland, F. S. J. Phys. Chem. 1978, 82, 1.
32. Talukdar, R.; Mellouki, A.; Gierczak, T.; Burkholder, J. B.; Stuart, A.; McKeen, S. A.; Ravishankara, A. R. J. Phys. Chem. 1991, 95, 5815.
33. Jellison, G. E., Jr.; Modine, F. A. Appl. Phys. Lett. 1996, 69, 371.
34. Tauc, J.; Grigorovici, R.; Vancu, A. Phys. Status Solidi 1966, 15, 627.