Annealing temperature effects on the structure of ferromagnetic Mn-implanted Si

Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films

Volumn 24, Issue 4, 2006, Pages 1648-1651

  Bolduc, M ^a   Awo Affouda, C ^a   Ramos, F ^a   LaBella, V P ^a  

^a STATE UNIVERSITY OF NEW YORK   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ANNEALING TEMPERATURE; OPTIMUM FIELD STRENGTH; POINT-DEFECT; WAFERS;

ANNEALING; DIFFUSION; FERROMAGNETIC MATERIALS; HIGH TEMPERATURE EFFECTS; HYSTERESIS; MAGNETIZATION; MAGNETOMETERS; MANGANESE; MOLECULAR STRUCTURE;

SILICON;

EID: 33745507997     PISSN: 07342101     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1116/1.2194921     Document Type: Article

References (42)

1. S. A. Wolf, D. D. Awschalom, R. A. Buhrman, J. M. Daughton, S. von Molnar, M. L. Roukes, A. Y. Chtchelkanova, and D. M. Treger, Science 294, 1488 (2001).
2. D. D. Awschalom and J. M. Kikkawa, Phys. Today 52, 33 (1999).
3. T. Dietl, H. Ohno, F. Matsukura, J. Cibert, and D. Ferrand, Science 287, 1019 (2000).
4. H. Ohno, Science 281, 951 (1998).
5. S. J. Pearton, C. R. Abernathy, D. P. Norton, A. F. Hebard, Y. D. Park, L. A. Boatner, and J. D. Budai, Mater. Sci. Eng., R. R40, 137 (2003).
6. X. Chen, Appl. Phys. Lett. 81, 511 (2002).
7. F. Tsui, L. He, L. Ma, A. Tkachuk, Y. S. Chu, K. Nakajima, and T. Chikyow, Phys. Rev. Lett. 91, 177203 (2003).
8. Y. D. Park, Science 295, 651 (2002).
9. S. Cho, S. Choi, S. C. Hong, Y. Kim, J. B. Ketterson, B.-J. Kim, Y. C. Kim, and J.-H. Jung, Phys. Rev. B 66, 033303 (2002).
10. M. Berciu and R. N. Bhatt, Phys. Rev. Lett. 87, 107203 (2001).
11. P. J. Wellmann, J. M. Garcia, J. L. Feng, and P. M. Petroff, Appl. Phys. Lett. 71, 2532 (1997).
12. Y. D. Park, A. Wilson, A. T. Hanbicki, J. E. Mattson, T. Ambrose, G. Spanos, and B. T. Jonker, Appl. Phys. Lett. 78, 2739 (2001).
13. N. Theodoropoulou, A. F. Hebard, M. E. Overberg, C. R. Abernathy, and S. J. Pearton, Phys. Rev. Lett. 89, 107203 (2002).
14. A. F. Hebard, R. P. Rairigh, J. G. Kelly, S. J. Pearton, C. R. Abernathy, S. N. G. Chu, and R. G. Wilson, J. Phys. D 37, 511 (2004).
15. J. S. Williams, Mater. Sci. Eng., A A253, 8 (1998).
16. S. O. Kucheyev, J. S. Williams, and S. J. Pearton, Mater. Sci. Eng., R. R33, 51 (2001).
17. A. Serres, M. Respaud, G. Benassayag, C. Armand, J. C. Pesant, A. Mari, Z. Lifiental-Weber, and A. Claverie, Physica E (Amsterdam) 17, 371 (2003).
18. J. Shi, J. M. Kikkawa, D. D. Awschalom, G. Medeiros-Ribeiro, P. M. Petroff, and K. Babcock, J. Appl. Phys. 79, 5296 (1996).
19. C. Chen, M. Cai, X. Wang, S. Xu, M. Zhang, X. Ding, and Y. Sun, J. Appl. Phys. 87, 5636 (2000).
20. N. Theodoropoulou, A. F. Hebard, S. N. G. Chu, M. E. Overberg, C. R. Abernathy, S. J. Pearton, R. G. Wilson, and J. M. Zavada, J. Appl. Phys. 91, 7499 (2002).
21. M. E. Overberg, J. Vac. Sci. Technol. B 20, 969 (2002).
22. M. Bolduc, C. Awo-Affouda, A. Stollenwerk, M. B. Huang, F. G. Ramos, G. Agnello, and V. P. LaBella, Phys. Rev. B 71, 033302 (2005).
23. L. Liu, N. Chena, S. Songa, Z. Yina, F. Yanga, C. Chaia, S. Yanga, and Z. Liua, J. Cryst. Growth 273, 458 (2005).
24. M. Bolduc, C. Awo-Affouda, A. Stollenwerk, M. B. Huang, F. Ramos, and V. P. LaBella, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 242, 367 (2005).
25. J. P. Biersack and J. F. Ziegler, SRIM-2000; http://www.research.ibm.com.
26. J. P. Biersack and J. F. Ziegler, SRIM-2000; http://www.research.ibm.com.
27. N. Yamada, K. Maeda, Y. Usami, and T. Ohoyama, J. Phys. Soc. Jpn. 55, 3721 (1986).
28. C. Kittel, Introduction to Solid State Physics (Wiley, New York, 1953).
29. C. Awo-Affouda, M. Bolduc, M. B. Huang, F. Ramos, K. A. Dunn, B. Thiel, G. Agnello, and V. P. LaBella, J. Vac. Sci. Technol. A (in press).
30. F. Bernardini, S. Picozzi, and A. Continenza, Appl. Phys. Lett. 84, 2289 (2004).
31. D. Kwon, J. Magn. Magn. Mater. 282, 240 (2004).
32. A. Sulpice, U. Gottlieb, M. Affronte, and O. Laborde, J. Magn. Magn. Mater. 272-276, 519 (2004).
33. U. Gottlieb, A. Sulpice, B. Lambert-Andron, and O. Laborde, J. Alloys Compd. 361, 13 (2003).
34. M. Yamada, T. Goto, and T. Kanomata, J. Alloys Compd. 364, 37 (2004).
35. N. Q. Lam, P. R. Okamoto, and R. A. Johnson, J. Nucl. Mater. 78, 408 (1978).
36. H. H. Woodbury and G. W. Ludwig, Phys. Rev. 117, 102 (1960).
37. R. Bader and S. Kalbitzer, Appl. Phys. Lett. 16, 13 (1970).
38. D. K. Sadana, M. H. Norcott, R. G. Wilson, and U. Dahmen, Appl. Phys. Lett. 49, 1169 (1986).
39. R. G. Wilson, D. M. Jamba, D. K. Sadana, and C. G. Hopkins, J. Appl. Phys. 61, 1355 (1987).
40. A. Lietoila, J. F. Gibbons, T. J. Magee, J. Peng, and J. D. Hong, Appl. Phys. Lett. 35, 532 (1979).
41. M. Servidori, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B B19-B20, 443 (1987).
42. R. D. Goldberg, T. W. Simpson, I. V. Mitchell, P. J. Simpson, M. Prikryl, and G. C. Weatherly, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B B106, 216 (1995).