Nanotube micro-optomechanical actuators

Applied Physics Letters

Volumn 88, Issue 25, 2006, Pages

  Lu, Shaoxin ^a   Panchapakesan, Balaji ^a  

^a UNIVERSITY OF DELAWARE   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

MICRO-OPTOMECHANICAL SYSTEMS (MOMS); MICROELETROMECHANICAL SYSTEMS; NANOTUBE FILM BONDING; PATTERNING TECHNIQUE;

BONDING; CARBON NANOTUBES; ETCHING; FIELD EMISSION DISPLAYS; NANOSTRUCTURED MATERIALS; PHOTOLITHOGRAPHY; PLASMAS; THIN FILMS;

ACTUATORS;

EID: 33745462672     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.2214148     Document Type: Article

References (22)

1. O. Groning, O. M. Kuttel, C. Emmenegger, P. Groning, and L. Schlapbach, J. Vac. Sci. Technol. B 18, 665 (2000).
2. J. S. Oakley, H.-T. Wang, B. S. Kang, Z. Wu, F. Ren, A. G. Rinzler, and S. J. Pearton, Nanotechnology 16, 2218 (2005).
3. L. Valentini, I. Armentano, J. M. Kenny, C. Cantalini, L. Lozzi, and S. Santucci, Appl. Phys. Lett. 82, 961 (2003).
4. D. Prasad, L. Zhiling, N. Satish, and E. V. Barrera, Nanotechnology 15, 379 (2004).
5. T. Takenobu, T. Takahashi, T. Kanbara, K. Tsukagoshi, Y. Aoyagi, and Y. Iwasa, Appl. Phys. Lett. 88, 033511 (2006).
6. J. H. Lehman, C. Engtrakul, T. Gennett, and A. C. Dillon, Appl. Opt. 44, 483 (2005).
7. A. D. Pasquier, H. E. Unalan, A. Kanwal, S. Miller, and M Chhowalla, Appl. Phys. Lett. 87, 203511 (2005).
8. Z. Wu, Z. Chen, X. Du, J. M. Logan, J. Sippel, M. Nikolou, K. Kamaras, J. R. Reynolds, D. B. Tanner, A. F. Hebard, and A. G. Rinzler, Science 305, 1273 (2004).
9. S. Fan, M. G. Chapline, N. R. Franklin, T. W. Tombler, A. M. Cassell, and H. Dai, Science 283, 512 (1999).
10. J. J. Sohn, S. Lee, Y. H. Song, S. Y. Choi, K. J. Cho, and K. S.Nam, Appl. Phys. Lett. 78, 901 (2001).
11. B. Gao, G. Z. Yue, Q. Qiu, Y. Cheng, H. Shimoda, L. Fleming, and O. Zhou, Adv. Mater. (Weinheim, Ger.) 13, 1770 (2001).
12. W. B. Choi, Y. W. Jin, H. Y. Kim, S. J. Lee, M. J. Yun, J. H. Kang, Y. S. Choi, N. S. Park, N. S. Lee, and J. M. Kim, Appl. Phys. Lett. 78, 1547 (2001).
13. W. B. Choi, D. S. Chung, J. H. Kang, H. Y. Kim, Y. W. Jin, I. T. Han, Y. H. Lee, J. E. Jung, N. S. Lee, G. S. Park, and J. M. Kim, Appl. Phys. Lett. 75, 3129 (1999).
14. S. J. Oh, Y. Cheng, J. Zhang, H. Shimoda, and O. Zhou, Appl. Phys. Lett. 82, 2521 (2003).
15. M. S. Jung, Y. K. Ko, D. H. Jung, D. H. Choi, H. T. Jung, J. N. Heo, B. H. Sohn, Y. W. Jin, and J. Kim, Appl. Phys. Lett. 87, 013114 (2005).
16. M. J. Madou, Fundamentals of Microfabrication: The Science of Miniaturization (CRC, Boca Raton, FL, 2002).
17. M. S. Dresselhaus, G. Dresselhaus, and P. Avouris, Carbon Nanotubes Synthesis, Structure, Properties, and Applications (Springer, Berlin, 2001).
18. J. Liu, A. G. Rinzler, H. Dai, J. H. Hafner, R. K. Bradley, P. J. Boul, A. Lu, T. Iverson, K. Shelimov, C. B. Huffman, F. R. Macias, Y.-S. Shon, T. R. Lee, D. T. Colbert, and R. E. Smalley, Science 280, 1253 (1998).
19. A. Hassanien, M. Tokumoto, P. Umek, D. Vrbanic, M. Mozetic, D. Mihailovic, P. Venturini, and S. Pejovnik, Nanotechnology 16, 278 (2005).
20. N. T. Nguyen, S. S.Ho, and C. L. Low, J. Micromech. Microeng. 14, 969 (2004).
21. N. Chronis and L. P. Lee, J. Microelectromech. Syst. 14, 857 (2005).
22. S. Lu and B. Panchapakesan, Nanotechnology 16, 2548 (2005).