Growth of aluminum nitride on (111) silicon: Microstructure and interface structure

Journal of Applied Physics

Volumn 83, Issue 4, 1998, Pages 2003-2009

  Bourret, A ^a   Barski, A ^a   Rouviere J L ^a   Renaud, G ^a   Barbier, A ^a  

^a CEA GRENOBLE   (France)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 3242775038     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.366929     Document Type: Article

References (21)

1. T. Lei, K. F. Ludwig, and T. D. Moustakas, J. Appl. Phys. 74, 4430 (1993).
2. W. J. Meng and T. A. Perry, J. Appl. Phys. 76, 7824 (1994).
3. K. S. Stevens, A. Otani, A. F. Schwartzman, and R. Beresford, J. Vac. Sci. Technol. B 12, 1186 (1994).
4. A. Watanabe, T. Takeuchi, K. Hirosawa, H. Amano, K. Hiramatsu, and I. Akasaki, J. Cryst. Growth 128, 391 (1993).
5. P. Kung, A. Saxler, X. Zhang, D. Walker, T. C. Wang, I. Ferguson, and M. Razeghi, Appl. Phys. Lett. 66, 2958 (1995).
6. W. T. Lin, L. C. Meng, G. J. Chen, and H. S. Liu, Appl. Phys. Lett. 66, 2066 (1995).
7. S. Tanaka, R. S. Kern, and R. F. Davis, Appl. Phys. Lett. 66, 37 (1995).
8. U. Rössner, J. L. Rouviere, A. Bourret, and A. Barski, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 395, 145 (1996).
9. I. Ivanov, L. Hultman, K. Järrendahl, P. Martensson, J. E. Sundgren, B. Hjörvasson, and J. E. Greene, J. Appl. Phys. 78, 5721 (1995).
10. A. Bourret, P. Fuoss, G. Feuillet, and S. Tatarenko, Phys. Rev. Lett. 70, 311 (1993).
11. M. A. L. Johnson, S. Fujita, W. H. Roland, J. K. A. Bowers, W. C. Hugues, Y. W. He, N. A. El-Masry, J. W. Cook, J. F. Schetzina, J. Ren, and J. A. Edmond, J. Vac. Sci. Technol. B 14, 2349 (1996).
12. C. A. Lucas and D. Loretto, Surf. Sci. 344, L1219 (1995).
13. U. Rössner, thesis, Grenoble, 1995.
14. R. Delhez, T. H. deKeijser, J. I. Langford, D. Louer, E. J. Mittemeijer, and E. J. Sonneveld, in The Rietveld Method, edited by R. A. Young (International Union of Crystallography, Oxford, 1995), Vol. 5, pp. 132-166.
15. H. Peisl, in Point Defects and Defect Interaction in Metals (University of Tokyo Press, Tokyo, 1982), p. 41.
16. A. R. Stokes and A. J. C. Wilson, Proc. Phys. Soc. 56, 174 (1944).
17. R. D. Aburano, H. W. Hong, J. M. Roesler, D. S. Lin, T. C. Chiang, and P. Zschack, Surf. Sci. 339, L891 (1995).
18. P. B. Howes, K. A. Edwards, D. J. Hughes, J. E. Macdonald, T. Hibma, T. Bootsma, and M. A. James, Surf. Sci. A 333, 646 (1995).
19. W. Bollmann, Crystals Defects and Crystalline Interfaces (Springer, Berlin, 1970).
20. R. Bonnet, A. Benlamine, and F. Reynaud, Acta Metall. 35, 711 (1987).
21. X. J. Ning, F. R. Chien, P. Pirouz, J. W. Yang, and M. A. Khan, J. Mater. Res. 11, 580 (1996).