Subvolt turn-on voltage self-align gate diamond emitter fabricated by self-align-gate-sharpened molding technique

Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures

Volumn 17, Issue 2, 1999, Pages 740-743

  Kang, W P ^a  

^a NONE

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 22644452715     PISSN: 10711023     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1116/1.590631     Document Type: Article

References (20)

1. J. S. Lee, K. S. Lim, and I. N. Lin, Appl. Phys. Lett. 71, 554 (1997).
2. N. A. Fox, W. N. Wang, T. J. Davis, J. W. Steeds, and P. W. May, Appl. Phys. Lett. 71, 2337 (1997).
3. M. Nagao, T. Kondo, Y. Gotoh, H. Tsuji, J. Ishikawa, K. Miyata, and K. Kobashi, Appl. Phys. Lett. 71, 2806 (1997).
4. J. Lee, K. Liu, and I. Lin, J. Appl. Phys. 82, 3310 (1997).
5. T. P. Humphreys, R. E. Thomas, D. P. Malta, J. B. Posthill, M. J. Mantini, R. A. Rudder, G. C. Hudson, R. J. Markunas, and C. Pettenkofer, Appl. Phys. Lett. 70, 1257 (1997).
6. J. E. Yater, A. Shih, and R. Abrams, Phys. Rev. B 56, 56 (1997).
7. I. L. Krainsky and V. M. Asnin, Appl. Phys. Lett. 72, 2574 (1998).
8. V. V. Zhirnov, E. I. Givargizov, and P. S. Plekhanov, J. Vac. Sci. Technol. B 13, 418 (1995).
9. E. I. Givargizov, J. Vac. Sci. Technol. B 13, 414 (1995).
10. J. Liu, V. V. Zhirnov, G. J. Wojak, A. F. Myers, W. B. Choi, J. J. Hren, S. D. Wolter, M. T. McClure, B. R. Stoner, and J. T. Glass, Appl. Phys. Lett. 65, 2842 (1994).
11. E. I. Givargizov, E. V. Rakova, V. V. Zhirnov, L. L. Aksenova, and D. M. Zverev, Phys. Dokl. 39, 766 (1994).
12. T. Asano, Y. Oobuchi, and S. Katsumat, J. Vac. Sci. Technol. B 13, 431 (1995).
13. W. P. Kang, J. L. Davidson, M. Howell, B. Bhuva, D. L. Kinser, D. V. Kerns, Q. Li, and J. F. Xu, J. Vac. Sci. Technol. B 14, 2068 (1996).
14. W. P. Kang, J. L. Davidson, M. A. George, J. Willig, I. Milosevlijevic, Q. Li, J. F. Xu, and D. V. Kerns, J. Vac. Sci. Technol. B 15, 460 (1997).
15. W. P. Kang, A. Wisitsora-at, J. L. Davidson, Q. Li, J. F. Xu, C. K. Kim, and D. V. Kerns, J. Vac. Sci. Technol. B 16, 732 (1998).
16. W. P. Kang, A. Wisitsora-at, J. L. Davidson, Q. Li, J. F. Xu, C. K. Kim, and D. V. Kerns, J. Vac. Sci. Technol. B 16, 684 (1998).
17. Q. Li, W. P. Kang, M. Y. Yuan, J. F. Xu, D. Zhang, and J. L. Wu, J. Vac. Sci. Technol. B 12, 676 (1994).
18. Q. Li, M. Y. Yuan, W. P. Kang, J. F. Xu, D. Zhang, and J. L. Wu, J. Vac. Sci. Technol. B 12, 1 (1994).
19. S. J. Lee, S. N. Lee, S. W. Lee, and D. Jeon, J. Vac. Sci. Technol. B 15, 457 (1997).
20. T. Hirano, S. Kanemaru, and J. Itoh, IEDM 96 Technical Digest, San Francisco, CA, 8-11 Dec. 1996 (unpublished).