Effect of intrinsic stress on preferred orientation in AlN thin films

Journal of Applied Physics

Volumn 95, Issue 4, 2004, Pages 2130-2134

  Gan, B K ^a   Bilek, M M M ^a   McKenzie, D R ^a   Taylor, M B ^b   McCulloh, D G ^b  

^a UNIVERSITY OF SYDNEY   (Australia)

^b RMIT UNIVERSITY   (Australia)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

CALCULATIONS; CRYSTAL ORIENTATION; DEPOSITION; ELECTRON DIFFRACTION; MICROSTRUCTURE; STRESSES; THIN FILMS; TRANSMISSION ELECTRON MICROSCOPY;

CRYSTALLITES; INTRINSIC STRESS; ION IMPACT ENERGY; PULSE BIAS;

ALUMINUM NITRIDE;

EID: 1542348998     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.1640462     Document Type: Article

References (25)

1. H. Windischmann, Crit. Rev. Solid State Mater. Sci. 17, 547 (1992).
2. M. F. Doerner and W. D. Nix, Crit. Rev. Solid State Mater. Sci. 14, 25 (1988).
3. J. A. Thornton and D. W. Hoffman, Thin Solid Films 171, 25 (1989).
4. A. Misra, S. Fayeulle, H. Kung, T. E. Mitchell, and M. Nastasi, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 148, 211 (1999).
5. A. Misra and M. Nastasi, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 175-177, 688 (2001).
6. H. Ljungcrantz, L. Hultman, J.-E. Sundgren, S. Johansson, N. Kristensen, J. Schweitz, and C. J. Shute, J. Vac. Sci. Technol. A 11, 543 (1993).
7. H. Ljungcrantz, L. Hultman, J.-E. Sundgren, and L. Karlsson, J. Appl. Phys. 78, 832 (1995).
8. S. Xu, B. K. Tay, H. S. Tan, L. Zhong, Y. Q. Tu, S. R. P. Silva, and W. I. Milne, J. Appl. Phys. 79, 7234 (1996).
9. X. L. Peng and T. W. Clyne, Thin Solid Films 312, 207 (1998).
10. M. M. M. Bilek, D. R. McKenzie, R. N. Tarrant, S. H. M. Lim, and D. G. McCulloch, Surf. Coat. Technol. 156, 136 (2002).
11. D. R. McKenzie, J. Vac. Sci. Technol. B 11, 1928 (1993).
12. D. R. McKenzie and M. M. M. Bilek, Thin Solid Films 382, 280 (2001).
13. H. Windischmann, Thin Solid Films 154, 159 (1987).
14. X. D. Wang, W. Jiang, M. G. Nroton, and K. W. Hipps, Thin Solid Films 251, 121 (1994).
15. A. Rodriguez-Navarro, W. Otano-Rivera, J. M. Garcia-Ruiz, R. Messier, and L. J. Pillone, J. Mater. Res. 12, 1689 (1997).
16. A. Rodriguez-Navarro, W. Otano-Rivera, J. M. Garcia-Ruiz, R. Messier and L. J. Pillone, J. Mater. Res. 12, 1850 (1997).
17. H. T. G. Hentzell, J. M. E. Harper, and J. J. Cuomo, J. Appl. Phys. 58, 556 (1985).
18. J. M. E. Harper, J. J. Cuomo, and H. T. G. Hentzell, Appl. Phys. Lett. 43, 547 (1983).
19. A. K. Chu, C. H. Chao, F. Z. Lee, and H. L. Huang, Thin Solid Films 429, 1 (2003).
20. R. N. Tarrant, C. S. Montross, and D. R. McKenzie, Surf. Coat. Technol. 136, 188 (2001).
21. G. G. Stoney, Proc. R. Soc. London, Ser. A 82, 172 (1909).
22. B. K. Gan, Yang Shi, D. A. Tompsett, M. M. M. Bilek, D. R. McKenzie, M. B. Taylor, and D. G. McCulloch, (unpublished).
23. D. R. McKenzie, M. M. M. Bilek, J. Appl. Phys. 86, 230 (1999).
24. R. W. G. Wyckoff, Crystal Structures (Interscience, New York, 1960).
25. L. E. McNeil, M. Grimsditch, and R. H. French, J. Am. Ceram. Soc. 76, 1132 (1993).